Физика и техника полупроводников

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Исследование влияния радиационной и термической обработки на состояние центров золота в кремнии

Махкамов Ш.¹, Турсунов Н.А.¹, Ашуров М.¹, Маманова М.¹, Мартынченко С.В.¹

¹Институт ядерной физики АН Республики Узбекистан, Улугбек, Ташкент, Узбекистан Institute of Nuclear Physics, Academy of Sciences of Uzbekistan, Tashkent, Uzbekistan

Institute of Nuclear Physics, Academy of Sciences of Uzbekistan, Tashkent, Uzbekistan

Поступила в редакцию: 29 апреля 1994 г.

Выставление онлайн: 19 ноября 1994 г.

PDF версия

Методами DLTS и стационарной фотопроводимости исследовано влияние радиационной и термической обработки на процесс электроактивации центров золота в кремнии. Показано, что термообработка при 650^oC облученных образцов приводит к существенному повышению концентрации электрически активных центров золота по сравнению с необлученными образцами. Установлено наличие пропорциональной зависимости концентрации электрически активных центров золота от потока облучения. Обнаружено уменьшение температуры отжига узельного состояния золота, смещение температуры отжига при котором происходит электроактивация сформированных центров в область более низких температур и существенное различие их концентрации до и после термообработки. Обсуждается возможный механизм процесса электроактивации центров золота при радиационной и термической обработках, основанный на взаимодействии атомов золота с компонентами радиационных дефектов.

Б.И. Болтакс, М.К. Бахадырханов, С.М. Городецкий, Г.С. Куликов. \it Компенсированный кремний (Л., 1972)
А. Милнс. \it Примеси с глубокими уровнями в полупроводниках (М., 1977)
Д.А. Вахабов, А.С. Закиров, Х.Т. Игамбердыев, Х. Кузибаев, А.Т. Мамадалимов, Ш. Махкамов, П.К. Хабибуллаев. ФТП, \bf 20, 747 (1986)
Ю.А. Капустин, Б.М. Колокольников, В.В. Котов, А.В. Медведков. ФТП, \bf 24, 871 (1990)
И.В. Антонова, А.В. Васильев, В.И. Панов, С.С. Шаймеев. ФТП, \bf 23, 253 (1989)
С.В. Ковешников, Е.Б. Якимов, Н.А. Ярыкин. Физика, химия, механика, N 11, 85 (1987)
Ш. Махкамов, М. Маманова, А. Мирзаев, Н.А. Турсунов. Препринт N P-9-347 (Институт ядерной физики, 1988)
Ш. Махкамов, Н.А. Турсунов, М. Маманова, М. Ашуров. ДАН Узбекистана N 1, 20 (1993)
А.З. Бадалов, В.Б. Шуман. ФТТ, 12, 2116 (1979)
Н.Т. Баграев, Л.С. Власенко, А.А. Лебедев. ЖТФ, \bf 55, 2149 (1985)
Ш. Махкамов, Н.А. Турсунов, А.Д. Блинков, М. Ашуров. Изв. АН УзССР. Сер. физ.-мат. наук, N 2, 47 (1985)
К.Д. Глинчук, Н.М. Литовченко. ФТТ, 6, 3701 (1964)
Л.С. Берман, А.А. Лебедев. \it Емкостная спектроскопия глубоких центров в полупроводниках (Л., 1981)
В.В. Емцев, Т.В. Машовец. \it Примеси и точечные дефекты в полупроводниках (М., 1981)
И.Д. Конозенко, А.К. Семенюк, В.И. Хиврич. \it Радиационные эффекты в кремнии (Киев, 1974)
Л.С. Берман, В.Б. Шуман. ФТП, 10, 2389 (1976)
Р.Ф. Коноплева, В.Л. Литвинов, Н.А. Ухин. \it Особенности радиационного повреждения полупроводников частицами высоких энергий (М., 1971)
Ш. Махкамов, М. Маманова, Ю.В. Пахакуров, Н.А. Турсунов. Письма ЖТФ, \bf 18, 44 (1992)
N.T. Bagraev, V.A. Mashkov. Sol. St. Commun., \bf 51, 515 (1984)
Ю.М. Добровинский, Ш. Махкамов, А. Мирзаев, В.И. Митин, Н.А. Турсунов. ФТП, \bf 25, 523 (1991)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель