Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Исследование влияния радиационной и термической обработки на состояние центров золота в кремнии
1Институт ядерной физики АН Республики Узбекистан, Улугбек, Ташкент, Узбекистан 
Поступила в редакцию: 29 апреля 1994 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1994 г.
Методами DLTS и стационарной фотопроводимости исследовано влияние радиационной и термической обработки на процесс электроактивации центров золота в кремнии. Показано, что термообработка при 650oC облученных образцов приводит к существенному повышению концентрации электрически активных центров золота по сравнению с необлученными образцами. Установлено наличие пропорциональной зависимости концентрации электрически активных центров золота от потока облучения. Обнаружено уменьшение температуры отжига узельного состояния золота, смещение температуры отжига при котором происходит электроактивация сформированных центров в область более низких температур и существенное различие их концентрации до и после термообработки. Обсуждается возможный механизм процесса электроактивации центров золота при радиационной и термической обработках, основанный на взаимодействии атомов золота с компонентами радиационных дефектов.
- Б.И. Болтакс, М.К. Бахадырханов, С.М. Городецкий, Г.С. Куликов. \it Компенсированный кремний (Л., 1972)
- А. Милнс. \it Примеси с глубокими уровнями в полупроводниках (М., 1977)
- Д.А. Вахабов, А.С. Закиров, Х.Т. Игамбердыев, Х. Кузибаев, А.Т. Мамадалимов, Ш. Махкамов, П.К. Хабибуллаев. ФТП, \bf 20, 747 (1986)
- Ю.А. Капустин, Б.М. Колокольников, В.В. Котов, А.В. Медведков. ФТП, \bf 24, 871 (1990)
- И.В. Антонова, А.В. Васильев, В.И. Панов, С.С. Шаймеев. ФТП, \bf 23, 253 (1989)
- С.В. Ковешников, Е.Б. Якимов, Н.А. Ярыкин. Физика, химия, механика, N 11, 85 (1987)
- Ш. Махкамов, М. Маманова, А. Мирзаев, Н.А. Турсунов. Препринт N P-9-347 (Институт ядерной физики, 1988)
- Ш. Махкамов, Н.А. Турсунов, М. Маманова, М. Ашуров. ДАН Узбекистана N 1, 20 (1993)
- А.З. Бадалов, В.Б. Шуман. ФТТ, 12, 2116 (1979)
- Н.Т. Баграев, Л.С. Власенко, А.А. Лебедев. ЖТФ, \bf 55, 2149 (1985)
- Ш. Махкамов, Н.А. Турсунов, А.Д. Блинков, М. Ашуров. Изв. АН УзССР. Сер. физ.-мат. наук, N 2, 47 (1985)
- К.Д. Глинчук, Н.М. Литовченко. ФТТ, 6, 3701 (1964)
- Л.С. Берман, А.А. Лебедев. \it Емкостная спектроскопия глубоких центров в полупроводниках (Л., 1981)
- В.В. Емцев, Т.В. Машовец. \it Примеси и точечные дефекты в полупроводниках (М., 1981)
- И.Д. Конозенко, А.К. Семенюк, В.И. Хиврич. \it Радиационные эффекты в кремнии (Киев, 1974)
- Л.С. Берман, В.Б. Шуман. ФТП, 10, 2389 (1976)
- Р.Ф. Коноплева, В.Л. Литвинов, Н.А. Ухин. \it Особенности радиационного повреждения полупроводников частицами высоких энергий (М., 1971)
- Ш. Махкамов, М. Маманова, Ю.В. Пахакуров, Н.А. Турсунов. Письма ЖТФ, \bf 18, 44 (1992)
- N.T. Bagraev, V.A. Mashkov. Sol. St. Commun., \bf 51, 515 (1984)
- Ю.М. Добровинский, Ш. Махкамов, А. Мирзаев, В.И. Митин, Н.А. Турсунов. ФТП, \bf 25, 523 (1991)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
