О встраивании азота в сетку аморфного гидрированного кремния
Жданович Н.С.1
1Физикотехнический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 2 февраля 1995 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1995 г.
С помощью измерения инфракрасных спектров пропускания исследовано встраивание атомов азота в пленки аморфного гидрированного кремния, выращенные при высокой температуре подложки распылением в высокочастотной плазме мозаичной мишени. Предлагается модель, объясняющая наблюдаемые особенности спектров, и анализируются факторы, влияющие на встраивание азота в кремниевую сетку.
- А.Р. Регель, В.А. Васильев, М.М. Мездрогина, Ф.С. Насрединов, П.П. Серегин, У.С. Турсунов, В.Б. Тураев. Неорг. матер., 27, 890 (1991)
- B.-R. Zhang, Z. Yu, G.J. Collins, T. Hwang, W.H. Ritchie. J. Vac. Sci. Techn. A, 7, 176 (1989)
- В.И. Соколов, И.Л. Шульпина, С.А. Гончаров, Н.С. Жданович. Электрон. техн., сер. 6, Материалы, вып. 7 (261), 6 (1991)
- А.Ф. Бардамид, В.И. Гопиенко, Ш. Дугужев, Н.С. Жданович, Г.С. Куликов, М.М. Мездрогина, С.В. Першеев. \it Тез. докл. Всес. сем. "Аморфные гидрированные полупроводники и их применение" (Л., 1991), с. 55
- T.Druesedau, St. Jaeger, H. Fiedler, H. Sobota, V. Riedle, R. Boettcher, A. Witzmann. J. Non-Cryst. Sol., 127, 165 (1991)
- А.А. Айвазов, Б.Г. Будагян, А.Ю. Сазонов. Неорг. матер., 29, 932 (1993)
- М.С. Аблова, С.А. Гончаров, Н.С. Жданович. \it Тез. докл. Всес. сем. "Аморфные гидрированные полупроводники и их применение" (Л., 1991), с. 47
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук