Вышедшие номера
О встраивании азота в сетку аморфного гидрированного кремния
Жданович Н.С.1
1Физикотехнический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 2 февраля 1995 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1995 г.

С помощью измерения инфракрасных спектров пропускания исследовано встраивание атомов азота в пленки аморфного гидрированного кремния, выращенные при высокой температуре подложки распылением в высокочастотной плазме мозаичной мишени. Предлагается модель, объясняющая наблюдаемые особенности спектров, и анализируются факторы, влияющие на встраивание азота в кремниевую сетку.