Получение и исследование 6H-SiC эпитаксиально-диффузионных p-n-структур
Лебедев А.А.1, Андреев А.Н.1, Мальцев А.А.1, Растегаева М.Г.1, Савкина Н.С.1, Челноков В.Е.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 25 ноября 1994 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1995 г.
Показано, что при диффузии бора в 6H-SiC эпитаксиальные p-n-структуры можно значительно повысить напряжение объемного пробоя и уменьшить вероятность поверхностного пробоя последних. Обнаружено, что выбор оптимальной температуры диффузии позволяет также сохранить достаточно малое омическое сопротивление диода при включении в прямом направлении. Проведено исследование величин пробоя 6H-SiC эпитаксиально-диффузионных p-n-структур в широком диапазоне температур.
- А.Е. Отблеск, В.Е. Челноков. \it Тр. II Всес. совещ. по широкозонным полупроводникам (Л., 1979) с. 197
- А.О. Константинов, Д.П. Литвин, В.И. Санкин. Письма в ЖТФ, 7, 1335 (1981)
- А.О. Константинов. ФТП, 17, 2124 (1983)
- М.М. Аникин, А.А. Лебедев, И.В. Попов, В.Е. Севастьянов, А.Л. Сыркин, А.В. Суворов, В.Е. Челноков, Г.П. Шпынев. Письма ЖТФ, 10, 1053 (1983)
- М.М. Аникин, А.А. Лебедев, И.В. Попов, В.П. Растегаев, А.М. Стрельчук, А.Л. Сыркин, Ю.М. Таиров, В.Ф. Цветков, В.Е. Челноков. ФТП, 22, 298 (1988)
- J.A. Edmond, H.-S. Kong, C.H. Carter Jr. Physica B, 185, 453 (1993)
- P.G. Neudeck, D.J. Larkin, J.A. Powel, L.G. Matus, C.S. Salipo. Appl. Phys. Lett., 64, 1386 (1994)
- Ю.А. Водаков, Н. Жумаев, Б.П. Зверев, Г.А. Ломакина, Е.Н. Мохов, В.Г. Одинг, В.В. Семенов, Ю.В. Симахин. ФТП, 11, 373 (1977)
- А.И. Вейнгер, Ю.А. Водаков, Ю.Н. Кулев, Г.А. Ломакина, Е.Н. Мохов, В.Г. Одинг, В.И. Соколов. Письма ЖТФ, 6, 1319 (1980)
- Ю.А. Водаков, Г.А. Ломакина, Е.Н. Мохов, В.Г. Одинг, В.В. Семенов. \it Тр. II Всес. сов. по широкозонным полупроводникам (Л., 1979) с. 164
- И.В. Попов, А.Л. Сыркин, В.Е. Челноков. Письма ЖТФ, 12, 240 (1985)
- M.M. Anikin, A.A. Lebedev, S.N. Pyatko, V.A. Soloviev, A.M. Strel'chuk. Springer Proc. in Physics, 56, 269 (1992)
- А.В. Наумов, В.И. Санкин. ФТП, 23, 1009 (1989)
- П. Тейлор. \it Расчет и проектирование тиристоров (М., Энергоатомиздат, 1990)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.