Поступила в редакцию: 2 марта 1995 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1996 г.
Рассмотрены физические процессы, определяющие поведение туннельной МДП структуры на основе n-кремния при высокой плотности тока. Впервые предложена целостная аналитическая модель, позволяющая рассчитывать вольт-амперные характеристики МДП структуры при большом напряжении на диэлектрике. Приведена ''классификация'' возможных вольт-амперных характеристик структур. Проанализировано влияние эффекта оже-ионизации полупроводника инжектированными носителями (в том числе при наличии сильного поля в полупроводнике). Проведены расчеты, иллюстрирующие зависимость вида характеристик прибора от уровня легирования подложки. Исследованы условия возникновения и характеристики так называемого ''включенного'' состояния, в котором потеря неосновных носителей из инверсного слоя происходит не только за счет туннелирования в металл, но и вследствие их диффузии в толщу полупроводника.
- J.G. Simmons, G.W. Taylor. Sol. St. Electron., 29, 287 (1986)
- K.M. Chu, D.L. Fulfrey. IEEE Trans. Electron. Dev., ED-35, 188 (1988)
- M.I. Vexler. IEEE Trans. Electron. Dev., ED-42, 656 (1995)
- Е.В. Остроумова, А.А. Рогачев. ФТП, 28, 1314 (1994)
- C.Y. Chang, S.J. Wang. Sol. St. Electron., 29, 339 (1986)
- T. Ando, A. Fowler, F. Stern. Rev. Mod. Phys., 54, N 2, 1 (1982)
- C. Moglestue. J. Appl. Phys., 59, 3175 (1986)
- Z.A. Weinberg. Sol. St. Electron., 20, 11 (1977)
- С. Зи. Физика полупроводниковых приборов (М., Мир, 1984)
- C. Chang, C. Hu, R. Brodersen. J. Appl. Phys., 57, 302 (1985)
- W.E. Drummond, J.L. Moll. J. Appl. Phys., 42, 5556 (1971)
- I.V. Grekhov, A.F. Shulekin, M.I. Vexler. Sol. St. Commun., 87, 341 (1993)
- W.N. Grant. Sol. St. Electron., 16, 1189 (1973)
- E.R. Fossum, R.C. Barker. IEEE Trans. Electron. Dev., ED-31, 1168 (1984)
- P.V. Dressendorfer, R.C. Barker. Appl. Phys. Lett., 36, 933 (1980)
- P.A. Ashburn, B. Soerowirdjo. IEEE Trans. Electron. Dev., ED-31, 853 (1984)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.