Кинетика образования и разрушения индуцированных радиационно-термическим воздействием пар V As Zn Ga в p-GaAs<Zn >
Глинчук К.Д.1, Прохорович А.В.1
1Институт физики полупроводников Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 23 октября 1995 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1996 г.
Изучено влияние электронного облучения (с дозой Phi=1016 см-2) и последующих отжигов (при температуре T=150/350o C, в течение времени t=10/600 мин) кристаллов p-GaAs<Zn> на образование и диссоциацию пар V As ZnGa. Анализ кинетики образования и диссоциации пар V As ZnGa позволил определить коэффициент диффузии радиационно-стимулированных вакансий мышьяка D (D=1.5·10-18, 1·10-17 и 5·10-17 см2/с при 150, 175 и 200o C соответственно), энергию активации процесса их диффузии varepsilonm (varepsilonm=1.1 эВ), а также энергию диссоциации последних varepsilond (varepsilond=1.6 эВ).
- K.D. Glinchuk, V.I. Guroshev, A.V. Prokhorovich, N.S. Zayats. Cryst. Res. Technol., 21, 811 (1986)
- К.Д. Глинчук, Н.С. Заяц, А.В. Прохорович. ФТП, 23, 657 (1989)
- К.Д. Глинчук, В.И. Гурошев, А.В. Прохорович. ФТП, 25, 82 (1991)
- К.Д. Глинчук, В.И. Гурошев, А.В. Прохорович. ФТП, 30, (1996)
- D. Stievenard, J.C. Bourgoin. J. Appl. Phys., 59, 743 (1986)
- D. Stievenard, X. Boddaert, J.C. Bourgoin, H.J. Bardeleben. Phys. Rev. B, 41, 5271 (1990)
- В.М. Глазов, В.С. Земсков. \it Физико-химические основы легирования полупроводников (М., Наука, 1967)
- Ф. Крегер. Химия несовершенных кристаллов (М., Мир, 1969)
- A. Ourmazd, W. Schr\ddot oter. J. Appl. Phys., 56, 1670 (1984)
- T. Zundel. Phys. Rev. B, 39, 13 549 (1989)
- Л.С. Смирнов. \it Физические процессы в облученных полупроводниках (Новосибирск, Наука, 1977)
- D. Pons, J.C. Bourgoin. J. Phys. C, 18, 3839 (1985)
- G. Dlubek. Phys. St. Sol. (a), 102, 443 (1987)
- J.C. Bourgoin, H.J. Bardeleben, D. Stievenard. Phys. St. Sol. (a), 102, 499 (1987)
- W. Pfeiffer, Appl. Phys. Lett., 58, 1751 (1991)
- S.J. Pearton. Appl. Phys. Lett., 59, 3571 (1991)
- S.J. Pearton, N.S. Hobson, C.R. Abernathy. Appl. Phys. Lett., 61, 1588 (1992)
- A.B. Conibear, A.W. Leitch. Phys. Rev. B, 49, 5069 (1994)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.