Вышедшие номера
Селективная фоточувствительность гетероструктур a-Si/ c-Si в ближней инфракрасной области спектра
Будагян Б.Г.1, Шерченков А.А.1, Айвазов А.А.1
1Московский институт электронной техники, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 16 декабря 1995 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1996 г.

Исследованы спектральные характеристики фоточувствительности гетероструктур на основе n-a-Si/p-c-Si в диапазоне длин волн 500/1200 нм в зависимости от температуры предварительного нагрева подложек Ts и температуры отжига Ta. Показано, что максимум фоточувствительности с увеличением температуры предварительного нагрева подложек сдвигается в длинноволновую область спектра и при Ts=500 oC, Ta=200 oC наблюдается на длине волны lambda=1080 нм. Предложена модель энергетической диаграммы гетероструктуры n-a-Si/p-c-Si, учитывающая существование на границе раздела структуры промежуточного слоя, препятствующего образованию обедненной области в подложке c-Si. Полученные результаты указывают на перспективность использования гетероструктур n-a-Si/p-c-Si для создания датчиков инфракрасного излучения с управляемым положением максимума фоточувствительности.