Вышедшие номера
Контроль распределения примесей III и V групп в кремнии по интенсивности донорно-акцепторной люминесценции
Покровский Я.Е.
Выставление онлайн: 20 мая 1990 г.

Показано, что при локальном фотовозбуждении образцов кремния, легированных примесями III или V групп в концентрациях 1016-1017 см-3, возможен контроль распределения примесей путем сканирования возбуждающим лучом и регистрации относительной интенсивности донорно-акцепторной люминесценции, пропорциональной произведению концентраций доноров и акцепторов.