Методами ЭПР и рентгеновской дифракции исследованы дефекты структуры в кремнии легированном бором до концентрации 1·10²⁰ см^-3, облученном нейтронами. Обнаружено, что в этом материале по сравнению со слабо легированным кремнием (концентрация бора 1·10¹⁶см^-3) спектр ЭПР искажен, а кривая дифракционного отражения имеет большую ширину. В спектре ЭПР сильно легированного, облученного нейтронами кремния путем расчета на ЭВМ выделена линия с шириной ~2·10^-3 T, фактором g=2.0071±0.0003. Концентрация неспаренных электронов, соответствующих этой линии, составила (3± 1)·10¹⁹ см^-3, что значительно выше содержания парамагнитных дефектов в слабо легированном материале (~1·10¹⁷ см^-3). Полученные результаты объясняются ускоренным накоплением дефектов в сильно легированном бором кремнии при облучении нейтронами.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.