Оптимизация корреляционной процедуры в методах термостимулированной релаксационной спектроскопии полупроводников
Вывенко О.Ф.1, Истратов А.А.1
1Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия
Выставление онлайн: 19 сентября 1992 г.
При исследовании уровней примесей, точечных дефектов и дислокаций в полупроводниках методами релаксационной спектроскопии возникает задача разрешения близлежащих максимумов. Основным способом решения этой задачи является правильный выбор корреляционной процедуры обработки сигналов релаксации. Проведено сравнение чувствительности и разрешающей способности корреляционных методов с различными весовыми функциями. Сравнение основано на расчете параметров коррелятора в зависимости от времени задержки Tc весовой функции относительно начала релаксации. Показано, что разрешающая способность коррелятора может быть заметно улучшена правильным выбором Tc. Построена параметрическая диаграмма, позволяющая наглядно сравнить известные весовые функции и выбрать коррелятор, соответствующий экспериментальным задачам. Результаты математического моделирования подтверждены экспериментально полученными спектрами DLTS с различными корреляционными процедурами.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.