Влияние рассогласования параметров решеток на структурные, оптические и транспортные свойства слоев InGaAs, выращиваемых методом молекулярно-пучковой эпитаксии на подложках InP (100)
Жуков А.Е.1, Егоров А.Ю.1, Устинов В.М.1, Цацульников А.Ф.1, Максимов М.В.1, Фалеев Н.Н.1, Копьев П.С.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 31 января 1996 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1996 г.
Исследовано влияние напряжения рассогласования на структурные, транспортные и оптические свойства толстых слоев InGaAs, выращенных на подложках InP (100) методом молекулярно-пучковой эпитаксии. Обнаружено, что слои с напряжением растяжения могут быть выращены с большим рассогласованием до начала пластической релаксации напряжения по сравнению со слоями с напряжением сжатия. Критическое рассогласование для толстых слоев InGaAs не описывается с достаточной точностью ни моделью механического равновесия, ни моделью баланса энергии. Диапазон рассогласования, необходимый для получения высоких значений подвижности носителей и эффективности излучательной рекомбинации в слоях InGaAs, выращенных на подложках InP, существенно уже диапазона псевдоморфного роста. Наибольшие подвижности и наименьшие ширины пика фотолюминесценции достигаются в слоях, согласованных по параметру решетки с подложкой, а также в слоях, слабо обогащенных галлием. Исследована зависимость ширины запрещенной зоны от состава с учетом влияния напряжения.
- J. Lee, W.F. Mayo, T. Tsakalakos. J. Electron. Matter., 21, 867 (1992)
- W.J. Bartels, W. Nijman. J. Cryst. Growth, 44, 518 (1978); F. Genova, G. Morello, C. Rigo. J. Vac. Sci. Technol. B, 5, 811 (1987)
- J.W. Matthews. J. Vac. Sci. Technol., 12, 126 (1975)
- R. People, J.C. Bean. Appl. Phys. Lett., 47, 322 (1985)
- M. Tacano, Y. Sugiyama, Y. Takeuchi, Y. Ueno. J. Electron. Matter., 20, 1081 (1991)
- Н.А. Берт, А.Т. Гореленок, С.Г. Конников, В.Е. Уманский, А.С. Усиков. ЖТФ, LI, 1018 (1981)
- A. Salokatve, M. Hovinen. J. Appl. Phys., 67, 3378 (1990)
- А.Ю. Егоров, А.Е. Жуков, П.С. Копьев, Н.Н. Леденцов, М.В. Максимов, В.М. Устинов. ФТП, 28, 604 (1994)
- D.J. Arent, K.Deneffe, C. VanHoof, J. DeBoek, G. Borghs. J. Appl. Phys., 66, 1739 (1989)
- G. Ji, D. Huang, U.K. Reddy, T.S. Henderson, R. Houdre, H. Morkoc. J. Appl. Phys., 62, 3366 (1987)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.