Вышедшие номера
Влияние границы диэлектрик--арсенид галлия на поведение кремния при радиационном отжиге
Ардышев В.М.1, Ардышев М.В.2, Хлудков С.С.2
1Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Томск, Россия
2Сибирский физико-технический институт им. акад. В.Д. Кузнецова Томского государственного университета, Томск, Россия
Поступила в редакцию: 29 марта 1999 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1999 г.

Методом измерения вольт-фарадных характеристик исследовались концентрационные профили n(x) 28Si, имплантированного в полуизолирующий GaAs (E1=50 кэВ, F1=8.75·1012 см-2 и E2=75 кэВ, F2=1.88·1012 см-2) после "электронного" отжига (P=7.6 Вт/см2, t=10 с) с защитными покрытиями: SiO2 : Sm; SiO2, осажденный путем окисления моносилана; Si3N4; а также и без диэлектрика. Показано, что профили после электронного отжига залегают глубже по сравнению с расчетным и профилем после термического отжига (800oC, 30 мин). Глубина залегания профилей зависит от диэлектрика. Наибольшее "уширение" профиля наблюдается при электронном отжиге GaAs без диэлектрика, а наименьшее - при электронном отжиге с пленкой SiO2 : Sm. На зaвисимостях n(x) можно выделить два участка - вблизи и вдали от границы раздела. Значения диффузионных параметров и степени электроактивации Si на втором участке больше, чем на первом. Результаты интерпретируются в предположении термоупругих напряжений в GaAs вблизи границы диэлектрик-полупроводник.