Влияние эрбия на электрические и фотоэлектрические свойства аморфного кремния, полученного высокочастотным разложением силана
Теруков Е.И.1, Казанин М.М.1, Коньков О.И.1, Кудоярова В.Х.1, Коугия К.В.2, Никулин Ю.А.2, Казанский А.Г.3
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургская государственная педиатрическая медицинская академия, Санкт-Петербург, Россия
3Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 29 декабря 1999 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2000 г.
Эрбий был введен в аморфный гидрогенизированный кремний, полученный высокочастотным разложением силана, за счет термического испарения TRIS (2,2,6,6 тетраметил-2.5 гептадионато) Er(III) внутри плазменного промежутка. Полученные образцы обладали выраженной слоистой структурой вследствие истощения источника эрбия: ближайший к подложке, обогащенный эрбием, кислородом и углеродом слой контролировал люминесценцию с длиной волны 1.535 мкм, характерную для внутри атомных переходов эрбия 4I13/2-> 4I15/2, и содержал значительное число дефектов. Верхний слой был значительно менее дефектным и по своим фотоэлектрическим характеристикам приближался к нелегированному a-Si : H и контролировал фотопроводимость полученных образцов. Экспериментальные данные проанализированы в рамках моделей легирования a-Si : H эрбием с образованием проводимости n-типа и формирования гетероперехода по мере роста пленки.
- G.S. Pomrenke, P.B. Klein, D.W. Langer. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 301, (1993)
- C. Coffa, A. Polman, R.N. Shwartz. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 422 (1996)
- M.S. Bressler, O.B. Gusev, V.Kh. Kudoyarova, A.N. Kuznetsov, P.E. Pak, E.I. Terukov, I.N. Yassievitch, B.P. Zakharchenya, W. Fuhs, A. Sturm. Appl. Phys. Lett., 67, 3599 (1995)
- T. Oestereich, C. Swiatowski, I. Broser. Appl. Phys. Lett., 56, 446 (1990)
- J.H. Shin, R. Serna, G.N. van den Hoven, A. Polman, W.G.J.H.M. van Sark, M. Vredenberg. Appl. Phys. Lett., 68, 997 (1996)
- A.R. Zanatta, L.A.O. Nunes, L.R. Tessler. Appl. Phys. Lett., 70, 511 (1997)
- V.B. Voronkov, V.G. Golubev, A.V. Medvedev, A.B. Pevtsov, N.A. Feoktistov, N.I. Gorshkov, D.N. Suglobov. Phys. Sol. St., 40, 1301 (1998)
- Е.И. Теруков, О.И. Коньков, В.Х. Кудоярова, О.Б. Гусев, Г. Вайзер. ФТП, 32, 8 (1998)
- R.A. Street. In: Hydrogenated Amorphous Silicon, еd. by R.W. Cahn, E.A. Davis and I.M. Ward (Cambridge University Press, 1991) p. 293
- S. Libertino, S. Coffa, G. Franzo, F. Priolo. J. Appl. Phys., 78, 3867 (1995)
- S. Hasegawa, J. Kasajima, T. Shimiru. Phil. Mag. B, 43, 149 (1981)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.