Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Отжиг глубоких центров бора в карбиде кремния
Балландович В.С.1, Мохов Е.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия 
Поступила в редакцию: 25 апреля 2001 г.
Выставление онлайн: 20 января 2002 г.
Исследовано влияние отжига на эффективность высокотемпературной люминесценции в образцах 6H-SiC, выращенных в различных условиях и легированных бором. Часть образцов была подвергнута радиационному облучению. Показано, что эффективность высокотемпературной люминесценции определяется содержанием в образцах глубоких центров бора, выявляемых емкостной спектроскопией как D-центры. Высокотемпературная обработка приводит к распаду D-центров, являющихся комплексами BSi-VC, при этом часть атомов бора переходит в электрически неактивное состояние. Установлено, что глубокие центры бора термически стабильны до ~ 1500oC. Сохранение этих центров до более высоких температур (вплоть до 2600oC) обусловлено присутствием в кристаллах SiC кластеров, являющихся источниками неравновесных углеродных вакансий. Подобные кластеры содержат кристаллы, выращенные в избытке кремния или облученные высокоэнергетическими частицами. Этим объясняется существенная зависимость как концентрации D-центров, так и температуры их отжига от условий приготовления образца.
- S.H. Hagen, A.W.C. Kemenade. Phys. St. Sol. A, 33, 97 (1976)
- Ю.А. Водаков, Н. Жумаев, Б.П. Зверев, Г.А. Ломакина, Е.Н. Мохов, В.Г. Одинг, В.В. Семенов, Ю.Ф. Симахин. ФТП, 11, 373 (1977)
- Э.Е. Виолин, Г.Ф. Холуянов. ФТТ, 6, 1696 (1964)
- H. Kuwabara, S. Yamada. Phys. St. Sol. A, 30, 739 (1975)
- А.И. Вейнгер, Ю.А. Водаков, Ю.И. Козлов, Г.А. Ломакина, Е.Н. Мохов, В.Г. Одинг, В.И. Соколов. Письма ЖТФ, 6, 1319 (1980)
- V.S. Ballandowich, Yu.N. Tairov, G.N. Violina. Phys. St. Sol. A, 65, 109 (1981)
- М.М. Аникин, А.А. Лебедев, А.Л. Сыркин, А.В. Суворов. ФТП, 19, 114 (1985)
- W. Suttrop, G. Pensl, P. Lanig. Appl. Phys. A., 51, 231 (1990)
- А.Г. Зубатов, И.М. Зарицкий, С.Н. Лукин, Е.Н. Мохов, В.Г. Степанов. ФТТ, 27, 322 (1985)
- A. Van Duijn-Arnold, T. Ikoma, O.G. Poluektov, P.G. Baranov, E.N. Mokhov, J. Schmidt. Phys. Rev. B., 57, 1607 (1998)
- Ю.А. Водаков, Г.Г. Гончаров, Г.А. Ломакина, А.А. Мальцев, Е.Н. Мохов, В.Г. Одинг, М.Г. Рамм, Г.Г. Рябова. ФТП, 21, 207 (1987)
- В.С. Балландович, Е.Н. Мохов. ФТП, 29, 370 (1995)
- Yu.A. Vodakov, E.N. Mokhov, G. Ramm, A.D. Roenkov. Krist. und Techn., 14, 729 (1979)
- Е.И. Радованова, Р.Г. Веренчикова, Ю.А. Водаков. ФТП, 17, 1115 (1983)
- Yu.A. Vodakov, E.N. Mokhov. Inst. Phys. Conf. Ser., N 137, 197 (1994)
- А.И. Гирка, Е.Н. Мохов. ФТТ, 37, 1855 (1995)
- S.G. Sridhara, L.L. Clemen, R.P. Devaty, W.J. Choyke, D.J. Larkin, H.S. Kong, T. Troffer, G. Pensl. J. Appl. Phys., 83, 7909 (1998)
- А.И. Гирка, А.Д. Мокрушин, Е.Н. Мохов, В.М. Осадчиев, С.В. Свирида, А.В. Шишкин. ЖЭТФ, 97, 578 (1990)
- M. Itoh. Phys. St. Sol. B, 202, 173 (1997)
- Ю.А. Водаков, Г.А. Ломакина, Е.Н. Мохов, М.Г. Рамм, В.И. Соколов. ФТП, 20, 2153 (1986)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
