Вышедшие номера
Обработка поверхности кремния импульсной азотной плазмой
Баимбетов Ф.Б.1, Ибраев Б.М.1, Жукешов А.М.1
1Казахский государственный национальный университет им. аль-Фараби, Алматы, Республика Казахстан
Поступила в редакцию: 26 марта 2001 г.
Выставление онлайн: 20 января 2002 г.

Методами инфракрасной спектроскопии и электронной микроскопии исследована структура поверхности монокристаллов кремния после плазменной обработки. Показано, что при облучении импульсной азотной плазмой в приповерхностной области формируется нитрид кремния.