Сегрегация подвижных ионов на границах раздела диэлектрик--полупроводник в МДП структурах
Дмитриев С.Г.1, Маркин Ю.В.1
1Институт радиотехники и электроники Российской академии наук, Фрязино, Россия
Поступила в редакцию: 22 декабря 2000 г.
Выставление онлайн: 20 января 2002 г.
Рассмотрено равновесное распределение подвижных ионов в МДП (металл-диэлектрик-полупроводник) структурах с ионными поверхностными состояниями на границе раздела диэлектрик-полупроводник. Представлен расчет квазистатических вольт-амперных характеристик ионных токов в МДП структурах. Заселенность поверхностных состояний ионами описана с помощью распределения Гиббса.
- Дж.П. Старк. Диффузия в твердых телах (М., Энергия, 1980)
- E.R. Nicollian, J.R. Brews. MOS (Metal--Oxide--Semiconductor) Physics and Technology (N.Y., John Willey \& Sons, 1982)
- Ф. Бехштедт, Р. Эндерман. Поверхности и границы раздела полупроводников (М., Мир, 1990)
- Дж. Поут, К. Ту, Дж. Мейер. Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции (М., Мир, 1982)
- Т. Андо, А. Фаулер, Ф. Стерн. Электронные свойства двумерных систем (М., Мир, 1985)
- С.Г. Дмитриев, Ю.В. Маркин. ФТП, 30, 1231 (1996)
- С.Г. Дмитриев, Ю.В. Маркин. ФТП, 32, 1439 (1998)
- С.Г. Дмитриев, Ю.В. Маркин. ФТП, 34, 970 (2000)
- С.Г. Дмитриев, Ю.В. Маркин. ФТП, 35, 192 (2001)
- A.G. Tangena, J. Middelhoek, N.F. de Rooij. J. Appl. Phys., 49, 2976 (1978)
- V.P. Romanov, Yu.A. Chaplygin. Phys. St. Sol. (a), 53, 493 (1979)
- В.В. Гавриловец, В.Б. Бондаренко, Ю.А. Кудинов, В.В. Кораблёв. ФТП, 34, 455 (2000)
- Л.Д. Ландау, Е.М. Лифшиц. Статистическая физика (М., Наука, 1976) ч. I
- Е.М. Лифшиц, Л.П. Питаевский. Физическая кинетика (М., Наука, 1979)
- С. Зи. Физика полупроводниковых приборов (М., Мир, 1984)
- В.Л. Бонч-Бруевич, С.Г. Калашников. Физика полупроводников (М., Наука, 1990)
- A.G. Tangena, N.F. de Rooij, J. Middelhoek. J. Appl. Phys., 49, 5576 (1978)
- С.Г. Дмитриев, Ю.В. Маркин. РЭ, 45, 220 (2000)
- Ч. Киттель. Статистическая термодинамика (М., Наука, 1977)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.