Взаимосвязь морфологии пористого кремния с особенностями спектров комбинационного рассеяния света
Булах Б.М.1, Джумаев Б.Р.1, Корсунская Н.Е.1, Литвин О.С.1, Торчинская Т.В.1, Хоменкова Л.Ю.1, Юхимчук В.А.1
1Институт физики полупроводников Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 13 июня 2001 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2002 г.
Исследованы структурные характеристики и спектры комбинационного рассеяния света слоев пористого кремния. Показано, что эффект усиления интенсивности сигнала рамановского рассеяния от пористого кремния по сравнению с интенсивностью сигнала от подложки связан с присутствием в образцах пор микронных размеров. Предложена модель, позволяющая объяснить это усиление и форму сигнала, в том числе совпадение сигнала от пористого слоя по форме и положению с линией от кремниевой подложки.
- D.J. Lockwood, A.G. Wang. Sol. St. Commun., 94, 905 (1995)
- H.D. Fuchs, M. Stutsmann, M.S. Brandt, M. Rosenbauer, J. Weber, A. Breitschwerdt, P. Deak, M. Cardona. Phys. Rev. B, 48, 8172 (1993)
- H.-J. Lee, Y.H. Seo, D.-H. Oh, K.S. Nahm, I.C. Jeon, E.-K. Suh, Y.H. Lee, H.J. Lee. J. Appl. Phys., 75, 8060 (1994)
- A.A. Filios, S.S. Hefner, R. Tsu. J. Vac. Sci. Technol. B, 14, 3431 (1996)
- М.Е. Компан, И.И. Новак, В.Б. Кулик, Н.А. Камакова. ФТТ, 41, 1320 (1999)
- A. Otto. In: Light Scattering in Solids IV, ed. by M. Cardona, G. Guntherodt (N.Y., Springer, 1984)
- H.-J. Lee, Y.H. Seo, D.-H. Oh, K.S. Nahm, I.C. Jeon, E.-K. Suh, Y.H. Lee, H.J. Lee, Y.G. Hwang, K.-H. Park, S.H. Chang, E.H. Lee. Appl. Phys. Lett., 62, 855 (1993)
- R.L. Smith, S.D. Collins. J. Appl. Phys., 71, R1 (1992)
- М.Е. Компан, И.Ю. Шабанов. ФТП, 29, 1859 (1995)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
