Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Формирование центров нуклеации макропор в кремнии с помощью ионной имплантации
Астрова Е.В.1, Васюнькина Т.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия 
Поступила в редакцию: 2 июля 2000 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2002 г.
Исследовалась возможность получения регулярного рисунка центров нуклеации макропор в кремнии с помощью ионной имплантации вместо использования обычных V-образных затравочных ямок. Показано, что избирательное радиационное повреждение или локальное изменение типа проводимости достаточны для зарождения макропор в одних участках и пассивации других. Полученные результаты могут быть полезны для практического применения и для лучшего понимания процесса порообразования в кремнии.
- V. Lehmann, H. Foll. J. Electrochem. Soc., 137, 653 (1990)
- V. Lehmann. J. Electrochem. Soc., 140, 2836 (1993)
- U. Gruning, V. Lehmann. Appl. Phys. Lett., 68, 747 (1996)
- S.W. Leonard, J.P. Mondia, H.M. van Driel, O. Toader, S. John, K. Busch, A. Birner, U. Gosele, V. Lehmann. Phys. Rev. B, 61, R2389 (2000)
- A. Chelnokov, K. Wang, S. Rowson, P. Garoche, J.-M. Lourtioz. Appl. Phys. Lett., 77, (19), 2943 (2000)
- J. Schilling, F. Muller, S. Matthias, R.B. Wehrspohn, U. Gosele, K. Busch. Appl. Phys. Lett., 78, 1180 (2001)
- Ch. Beetz, R. Boerstler, J. Steinbeck, B. Lemieux, D. Winn. Nucl. Instr. a. Meth. in Physics Research A, 442, 443 (2000)
- V. Lehmann, W. Honlein, H. Reisinger, A. Spitzer, H. Wendt, J. Willer. Thin Sol. Films, 276, 138 (1996)
- E.V. Astrova, V.B. Voronkov, I.V. Grekhov, A.V. Naschekin, A.G. Tkachenko. Phys. St. Sol. (a), 182, 145 (2000)
- H. Ohji, P.J. Trench, K. Tsutsumi. Sensors and Actuators, 82, 254 (2000)
- R.B. Wehrspohn, J.-N. Chazalviel, F. Ozanam. J. Electrochem. Soc., 145, 2958 (1998)
- R.B. Wehrspohn, F. Ozanam, J.-N. Chazalviel. J. Electrochem. Soc., 146, 3309 (1999)
- H. Foll, J. Carstensen, M. Christophersen, G. Hasse. Phys. St. Sol. (a), 182, 7 (2000)
- M.H. Al Rifai, M. Christophersen, S. Ottow, J. Carstensen, H. Foll. J. Electrochem. Soc., 147, 627 (2000)
- H. Ohji, P.J. Trench, S. Izuo, K. Tsutsumi. Sensors and Actuators, 85, 390 (2000)
- P. Schmuki, L.E. Erikson, D.J. Lockwood. Phys. Rev. Lett., 80, 4060 (1998)
- V.Y. Doan, M.Y. Sailor. Appl. Phys. Lett., 60, 619 (1992)
- A.J. Steckl, J. Xu, H.C. Mogul, S. Morglu. Appl. Phys. Lett., 62, 1982 (1993)
- J. Xu, A.J. Steckl. Appl. Phys. Lett., 65, 2081 (1994)
- X.-M. Bao, H.-Q. Yang. Appl. Phys. Lett., 63, 2246 (1993)
- S.P. Duttagupta, C. Peng, P.M. Fauchet, S.K. Kurinec, T.N. Blanton. J. Vac. Sci. Technol. B, 13, 1230 (1995)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
