Вышедшие номера
Планарные светоизлучающие микрорезонаторы на основе гидрогенизированного аморфного карбида кремния
Медведев А.В.1, Феоктистов Н.A.1,2, Грудинкин С.A.1,2, Дукин А.А.1, Голубев В.Г.1,2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 27 февраля 2014 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2014 г.

Методом плазмохимического газофазного осаждения изготовлены планарные микрорезонаторы Фабри-Перо с излучающим на границе видимого и инфракрасного диапазонов спектра активным слоем. Микрорезонаторы состоят из активного слоя a-Si1-xCx : H с повышенным содержанием углерода и распределенных брэгговских отражателей из чередующихся неизлучающих слоев a-Si1-xCx : H/a-SiO2. Активный слой и распределенные брэгговские отражатели выращены в едином технологическом цикле. Благодаря высокому оптическому контрасту и малому поглощению слоев распределенных брэгговских отражателей достигнута большая добротность микрорезонаторов (Q=316) и высокая степень направленности излучения из микрорезонаторов при трех парах слоев в распределенных брэгговских отражателях. Интенсивность фотолюминесценции при комнатной температуре оказывается на 2 порядка выше по сравнению с интенсивностью излучения идентичного слоя a-Si1-xCx : H без распределенных брэгговских отражателей. Из сопоставления экспериментальных и рассчитанных методом матриц переноса с учетом дисперсии вещественной и мнимой частей показателя преломления a-Si1-xCx : H спектров пропускания сделана оценка степени систематического отклонения толщин слоев в распределенных брэгговских отражателях и определена верхняя граница коэффициента поглощения в слоях a-Si1-xCx : H.