Поликарпов М.А.1, Якимов Е.Б.2,3
1Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
2Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
3Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия
