Исследование микрокристаллического кремния методом малоуглового рассеяния рентгеновских лучей
Шарков М.Д.1, Бойко М.Е.1, Бойко А.М.1, Бобыль А.В.1, Конников С.Г.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 29 декабря 2014 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2015 г.
С помощью методики малоуглового рассеяния рентгеновских лучей исследован набор из двух типов образцов микрокристаллического кремния, произведенного для применения в панелях солнечных элементов. Показано, что в двух отдельных образцах, относящихся к разным типам, высоты зерен кремния составляют около 230 и 23 нм соответственно - вместо технологически запланированных 200 и 20 нм. Показано, что в образце, у которого в целях проведения исследований в просвечивающем режиме была сошлифована стеклянная подложка, сформирован поверхностный слой в виде локально упорядоченной матрицы из зерен аморфного кремния размером около 3 нм.
- Л.Д. Ландау, Е.М. Лифшиц. Теория упругости (М., Физматлит, 2003) с. 240
- A.V. Bobyl, M.E. Boiko, A.M. Boiko, M.D. Sharkov, E.I. Terukov. Abstracts of the Photovoltaic Technical Conference (PVTC) 2012 (Aix-en-Provence, France, 2012)
- O. Glatter, O. Kratky (eds). Small-Angle X-Ray Scattering (London, Academic Press, 1982)
- S.-H. Chen, B.L. Carvalho, X.-H. Guo, J. Chen, V. Leung, S.-L. Chang, P. Lo Nostro, J. Rouch, P. Tartaglia, X.-B. Wei. RLE Progress Report, 132, 157 (1989)
- М.Е. Бойко, М.Д. Шарков, А.М. Бойко, С.И. Нестеров, С.Г. Конников. ФТТ, 55 (10), 2036 (2013)
- Н.С. Савкина, В.В. Ратников, А.Ю. Рогачев, В.Б. Шуман, А.С. Трегубова, А.А. Волкова. ФТП, 36 (7), 812 (2002)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
