Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Исследование корреляционных свойств структуры поверхности пленок nc-Si/a-Si : H с различной долей кристаллической фазы
1Рязанский государственный радиотехнический университет, Рязань, Россия 
2Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
3Московский институт электроники и математики НИУ ВШЭ, Москва, Россия
4Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва, Россия
2Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
3Московский институт электроники и математики НИУ ВШЭ, Москва, Россия
4Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва, Россия
Email: pgnv@mail.ru
Поступила в редакцию: 16 июня 2015 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2016 г.
Методом двухмерного флуктуационного анализа с исключенным трендом исследованы корреляционные свойства структуры пленок nc-Si/a-Si : H с различной объемной долей кристаллической фазы. Анализ рельефа поверхности экспериментальных образцов показал, что по мере увеличения объемной доли кристаллической фазы в пленках nc-Si/a-Si : H наблюдалось увеличение размера и количества нанокластеров на их поверхности. Размеры нанокристаллов Si в матрице a-Si : H (6-8 нм) указывают на то, что крупные нанокластеры образовались в результате самоорганизации нанокристаллов Si в группы при воздействии лазерного излучения. С помощью метода двухмерного флуктуационного анализа с исключенным трендом выявлено, что по мере увеличения доли нанокристаллов в пленках nc-Si/a-Si : H возрастало количество корреляционных векторов (гармонических составляющих) в их структуре.
- D.L. Staebler, C.R. Wronski. J. Appl. Phys., 51, 3262 (1980)
- C.R. Wronski, R.W. Collins. Solar Energy, 77, 877 (2004)
- M.Y. Soro, M.E. Gueunier-Farret, J.P. Kleider. J. Appl. Phys., 109, 023 713 (2011)
- J.P. Kleider, P. Roca i Cabarrocas. J. Non-Cryst. Sol., 299--302, 599 (2002)
- T.Y. Choi, D.J. Hwang, C.P. Grigoropoulos. Opt. Eng., 42, 3383 (2003)
- S.D. Sundaram, E. Masur. Nature. Materials, 1, 217 (2002)
- J. Shieh, Z. Chen, B. Dai, Y. Wang, A. Zaitzev, C. Pan. Appl. Phys. Lett., 85, 1232 (2004)
- X.C. Wang, H.Y. Zheng, C.W. Tan, F. Wang, H.Y. Yu, K.L. Pey. Opt. Express, 18, 19 379 (2010)
- B.K. Nayak, M.C. Gupta. Appl. Phys. A, 89, 663 (2007)
- G. Nicolis, I. Prigogine. Self-organization in nonequlibrium systems. From dissipative to order through fluctuations (N.Y., Wiley, 1977) p. 512
- А.В. Емельянов, А.Г. Казанский, П.К. Кашкаров, О.И. Коньков, Е.И. Теруков, П.А. Форш, М.В. Хенкин, А.В. Кукин, M. Beresna, P. Kazansky. ФТП, 46, 769 (2012)
- A.V. Emelyanov, A.G. Kazanskii, M.V. Khenkin, P.A. Forsh, P.K. Kashkarov, M. Gecevicius, M. Beresna, P.G. Kazansky. Appl. Phys. Lett., 101, 081 902 (2012)
- A.V. Emelyanov, M.V. Khenkin, A.G. Kazanskii, P.A. Forsh, P.K. Kashkarov, M. Gecevicius, M. Beresna, P.G. Kazansky. Thin Sol. Films, 556, 410 (2014)
- А.В. Алпатов, С.П. Вихров, Н.В. Гришанкина, С.М. Мурсалов. Вестн. РГРТУ, 4 (42), ч. 2, 12 (2012)
- А.В. Алпатов, С.П. Вихров, Н.В. Гришанкина. ФТП, 47 (3), 340 (2013)
- А.В. Алпатов, С.П. Вихров, Н.В. Рыбина. ФТП, 49 (4), 467 (2015)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
