Вышедшие номера
Изменение проводимости тонких пленок селенида свинца после плазменного травления
Зимин С.П.1, Амиров И.И.2, Наумов В.В. 2
1Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова, Ярославль, Россия
2Ярославский филиал Физико-технологического института Российской академии наук, Ярославль, Россия
Email: ildamirov@yandex.ru, vvnau@rambler.ru
Поступила в редакцию: 2 февраля 2016 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2016 г.

Проведено изучение электропроводности тонких эпитаксиальных пленок n-PbSe и p-PbSe после процесса сухого травления в аргоновой плазме высокочастотного индукционного разряда низкого давления при энергии бомбардирующих ионов 200 эВ. Показано, что наблюдаемые изменения хорошо объясняются в рамках классической модели возникновения радиационных дефектов донорного типа, а процессы пострадиационного отжига в вакууме приводят к устранению таких дефектов. В рамках теории Фукса-Зондгеймера определены величины длины свободного пробега носителей заряда в пленках p-PbSe, которые при комнатной температуре составили 16 и 32 нм для параметра зеркальности 0 и 0.5 соответственно.