Исследование параметров наноразмерного слоя в наногетероструктурах на основе полупроводниковых соединений AIIBVI
Караваев М.Б.1, Кириленко Д.А.1, Иванова Е.В.1, Попова Т.Б.1, Ситникова А.А.1, Седова И.В.1, Заморянская М.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: estonianchameleon@gmail.com
Поступила в редакцию: 28 мая 2016 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2016 г.
Методами локальной катодолюминесценции и рентгеноспектрального микроанализа проведено комплексное исследование широкозонных наногетероструктур на основе ZnSe, полученных методом молекулярно-пучковой эпитаксии. Было показано, что используемые методы позволяют неразрушающим способом определять глубину залегания, элементный состав и геометрические параметры наноразмерного слоя ZnCdSe. Точность результатов контролировалась методом просвечивающей электронной микроскопии. Методики исследования основаны на возможности варьирования энергии первичного электронного пучка, что приводит к изменению областей генерации характеристического рентгеновского излучения и катодолюминесценции. DOI: 10.21883/FTP.2017.01.8249
- М.В. Заморянская, С.Г. Конников, А.Н. Заморянский. Приборы и техника эксперимента, 3, 1 (2004)
- D. Drouin, A.R. Couture, D. Joly, X. Tastet, V. Aimez, R. Gauvin. Scanning, 29, 92 (2007)
- Т.Б. Попова, Л.А. Бакалейников, М.В. Заморянская, Е.Ю. Флегонтова. ФТП, 42 (6), 686 (2008)
- H. Okuyama, Y. Kishita, A. Ishibashi. Phys. Rev. B, 57, 2257 1998
- V. Pellegrini, R. Atanasov, A. Tredicucci, F. Beltram. Phys. Rev. B, 51 (8), 5171 (1995)
- М.В. Максимов, И.Л. Крестников, С.В. Иванов, Н.Н. Леденцов, С.В. Сорокин. ФТП, 31 (8), 939 (1997)
- R. Chingolani, P. Prete, D. Greco, P.V. Guigno, M. Lomascolo, R. Rimaldi, L. Calcagnile, L. Vanzetti, L. Sobra, A. Franciosi. Phys. Rev. B, 51, 5176 (1995)
- Y. Wu, K. Ichino, Y. Kawakami, S. Fujita. Jpn. J. Appl. Phys. 31, 1737 (1992)
- H.J. Lozykowski, V.K. Shastri. J. Appl. Phys., 69, 3235 (1991)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.