Влияние режимов электрохимического травления на морфологию, структурные и оптические свойства пористого арсенида галлия
Середин П.В.1, Леньшин А.С.1, Федюкин А.В.1, Голощапов Д.Л.1, Лукин А.Н.1, Арсентьев И.Н.2, Жаботинский А.В.2
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: paul@phys.vsu.ru
Поступила в редакцию: 5 июня 2017 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2018 г.
Методами рентгеновской дифракции, электронной микроскопии, инфракрасной и ультрафиолетовой спектроскопии в работе изучены свойства образцов пористого GaAs, полученного методом электрохимического травления монокристаллических пластин n-GaAs(100). Удалось показать, что подбором состава электролита и условий травления могут быть получены образцы не только с различной степенью пористости и размером пор (нано/микро), но и иным типом поверхности образца. Травление n-GaAs(100) в выбранных условиях не приводит к изменению ориентации пористого слоя относительно ориентации монокристаллической подложки GaAs(100), ведет к уменьшению полуширины дифракционного максимума по сравнению с исходной пластиной, приводит к расщеплению фононной моды в инфракрасных спектрах и частотному сдвигу компонент с учетом параметров анодного травления, а также меняет оптические свойства в ультрафиолетовом диапазоне.
- М. Naddaf, M. Saad. J. Mater. Sci. Mater. Electron., 24, 2254 (2013)
- G. Flamand, J. Poortmans. Phys. Status Solidi A, 202, 1611 (2005)
- A.I. Belogorokhov, S.A. Gavrilov, I.A. Belogorokhov, A.A. Tikhomirov. Semiconductors, 39, 243 (2005)
- P. Schmuki, D.J. Lockwood, H.J. Labbe, J.W. Fraser. Appl. Phys. Lett., 69, 1620 (1996)
- A. Dyadenchuk. Int. J. Mod. Commun. Technol. Res., 2, 5 (2014)
- Д.Н. Горячев, О.М. Сресели. ФТП, 31, 1383 (1997)
- Y.A. Bioud, А. Boucherif, A. Belarouci, E. Paradis, D. Drouin, R. Ar\`es. Nanoscale Res. Lett., 11, 446 (2016)
- A. Lebib, E. Ben Amara, L. Beji. J. Luminesc, 188, 337 (2017)
- A.S. Len'shin, V.M. Kashkarov, P.V. Seredin, B.L. Agapov, D.A. Minakov, V.N. Tsipenyuk. Tech. Phys., 59, 224 (2014)
- A.S. Len'shin, V.M. Kashkarov, V.N. Tsipenyuk, P.V. Seredin, B.L. Agapov, D.A. Minakov. Techn. Phys., 58, 284 (2013)
- А.С. Леньшин, В.М. Кашкаров, П.В. Середин, Д.А. Минаков, Э.П. Домашевская. ЖТФ, 85, 151 (2015)
- E.P. Domashevskaya, P.V. Seredin, A.N. Lukin, L.A. Bityutskaya, M.V. Grechkina, I.N. Arsentyev. Surf. Interface Anal., 38, 828 (2006)
- P.V. Seredin, A.V. Glotov, A.S. Lenshin, I.N. Arsentyev, D.A. Vinokurov, T. Prutskij. Semiconductors, 48, 21 (2014)
- R. Bernal Correa, J. Montes Monsalve, A. Pulzara Mora, M. Lopez Lopez, A. Cruz Orea, J.A. Cardona. Superf. Vac\`i o, 27, 102 (2014)
- N.K. Ali, M.R. Hashim, A.A. Aziz, H.A. Hassan, J. Ismail. Electrochem. Solid-State Lett., 12, K9 (2009)
- Paul M. Amirtharaj, David G. Seiler. Optical Properties of Semiconductors. Handbook Opt. V. II Devices Meas. Prop. Second Ed. 2nd edn (McGraw-Hill, 1995)
- S. Adachi. Properties of semiconductor alloys: group-IV, III-V and II-VI semiconductors (Chichester, U.K., Wiley, 2009)
- P.V. Seredin, A.V. Glotov, E.P. Domashevskaya, I.N. Arsentyev, D.A. Vinokurov, I.S. Tarasov. Phys. B: Condens. Matter, 405, 4607 (2010)
- P.V. Seredin, A.V. Glotov, E.P. Domashevskaya, I.N. Arsentyev, D.A. Vinokurov, I.S. Tarasov. Phys. B: Condens. Matter, 405, 2694 (2010)
- V.A. Volodin, M.D. Efremov, V.Y. Prints, V.V. Preobrazhenskii, B.R. Semyagin, A.O. Govorov. J. Exper. Theor. Phys. Lett., 66, 47 (1997)
- P.V. Seredin, A.S. Lenshin, V.M. Kashkarov, A.N. Lukin, I.N. Arsentiev, A.D. Bondarev. Mater. Sci. Semicond. Process., 39, 551 (2015)
- P.V. Seredin, V.M. Kashkarov, I.N. Arsentyev, A.D. Bondarev, I.S. Tarasov. Phys. B: Condens. Matter, 495, 54 (2016)
- P.V. Seredin, A.S. Lenshin, D.L. Goloshchapov, A.N. Lukin, I.N. Arsentyev, A.D. Bondarev. Semiconductors, 49, 915 (2015)
- Ю.И. Уханов. Оптические свойства полупроводников (М., Наука, 1977)
- J. Tauc. Prog. Semicond. (Heywood, London), 9, 87 (1965).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.