Вышедшие номера
Home » Физика и техника полупроводников » Год 2013, выпуск 4 » Статья стр. 546
<<<>>>
Структурные и оптические свойства тонких пленок In2O3, полученных автоволновым окислением
Тамбасов И.А.1,2, Мягков В.Г.1, Иваненко А.А.1, Немцев И.В.1, Быкова Л.Е.1, Бондаренко Г.Н.3, Михлин Ю.Л.3, Максимов И.А.3, Иванов В.В.2, Балашов С.В.2, Карпенко Д.С.2
1Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук, Красноярск, Россия
2АО "Информационные спутниковые системы" им. акад. М.Ф. Решетнёва, Красноярск, Россия
3Институт химии и химической технологии СО РАН, ФИЦ КНЦ СО РАН, Красноярск, Россия
Поступила в редакцию: 16 мая 2012 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2013 г.
PDF версия
Пленки кубической фазы In2O3 получены автоволновой реакцией окисления. Электронно-микроскопические исследования и фотоэлектронная спектроскопия профилей распределения показали, что образцы однородны по всей площади и толщине, характерный размер зерна 20-40 нм. Проведены исследования оптических и электрических свойств пленок In2O3, полученных при различном давлении в вакуумной камере. В диапазоне длины волн 400-1100 нм пленки имели прозрачность более 85% и удельное сопротивление 1.8· 10-2 Ом·см.
  1. C.G. Granqvist. Sol. Energy Mater. Solar Cells, 91, 1529 (2007)
  2. S.-Y. Han, G.S. Herman, Chin-hung Chang. J. Am. Chem. Soc., 133, 5166 (2011)
  3. R.E. Presley, C.L. Munsee, C.-H. Park, D. Hong, J.F. Wager, D.A. Keszler. J. Phys. D: Appl. Phys., 37, 2810 (2004)
  4. A.A. Ivanenko, N.P. Shestakov, A.M. Sysoev, V.F. Shabanov. Proc. 7th World Multiconf. Systemics, Cybernetics, Informatics (Orlando, 2003) v. 10, p. 124
  5. K.D. Gopchandran, B. Joseph, J.T. Abraham, P. Koshy, V.K. Vaidyan. Vacuum, 48, 547 (1997)
  6. P. Koscielniak, J. Mazur, J. Henek, M. Kwoka, L. Pawela, J. Szuber. Thin Sol. Films, 520, 927 (2011)
  7. С.И. Рембеза, П.Е. Воронов, Б.М. Синельников, Е.С. Рембеза. ФТП, 45, 1538 (2011)
  8. S. Cho. Microelectron. Engin., 89, 84 (2012)
  9. Д.А. Зуев, А.А. Лотин, О.А. Новодворский, Ф.В. Лебедев, О.Д. Храмова, И.А. Петухов, А.Н. Шатохин, М.Н. Румянцева, А.М. Гаськов, Ф.Н. Путилин. ФТП, 46, 425 (2012)
  10. J.M. Dekkers, G. Rijnders, H.A. Blank. Appl. Phys. Lett., 88, 151 908 (2006)
  11. T. Maruyama, K. Fukui. Thin Sol. Films, 201 (2), 297 (1991)
  12. A. Suzuki, K. Maki. Chem. Vapor Deposition, 12, 608 (2006)
  13. M. Ritala, T. Asikainen, H. Leskela. Electronchem. Solid-State Lett., 1, 156 (1998)
  14. R.B.H. Tahar, T. Ban, Y. Ohya, Y. Takahashi. J. Appl. Phys., 83, 2139 (1998)
  15. C. Cantalini, W. Wlodarski, H.T. Sun, M.Z. Atashbar, M. Passacantando, A.R. Phani, S. Santucci. Thin Sol. Films, 350, 276 (1999)
  16. V.D. Das, S. Kirupavathy, L. Damodare, N. Lakshminarayan. J. Appl. Phys., 79, 8521 (1996)
  17. M. Girtan, G.I. Rusu, G.G. Rusu, S. Gurlui. Appl. Surf. Sci., 162--163, 492 (2000)
  18. H. Kim, J.S. Horwitz, A. Pique, C.M. Gilmore, D.B. Chrisey. Appl. Phys. A, 69, 447 (1999)
  19. K. Ulutas, D. Deger, Y. Skarlatos. Phys. Status Solidi A, 203, 2432 (2006)
  20. В.Г. Мягков, В.С. Жигалов. Твердофазные реакции и фазовые превращения в слоистых наноструктурах (Новосибирск, СО РАН, 2011)
  21. V.G. Miagkov, L.I. Kveglis, G.I. Frolov, V.S. Zhigalov. J. Mater. Sci. Lett., 13, 1284 (1994)
  22. А.Г. Мержанов. В кн.: Физическая химия: Современные проблемы, под ред. Я.М. Колотыркина (М., Химия, 1983)
  23. А.Г. Мержанов. Успехи химии, 72, 289 (2003)
  24. Е.А. Левашов, А.С. Рогачев, В.И. Юхвид, И.П. Боровинская. Физико-химические и технологические основы самораспространяющегося высокотемпературного синтеза (М., Бином, 1999)
  25. А.С. Рогачев. Успехи химии, 77, 22 (2008)
  26. C. Kwon, J. Kim, H.J. Lee, H.C. Jung, C.G. Park. J. Appl. Phys., 69, 6716 (1991)
  27. K. Ulutas, D. Deger, N. Kalkan, S. Yildirim, Y.G. Celebi, Y. Iskarlatos, M.L. Ovecogluz, A. Genc. IOP Conf. Series: Mater. Sci. Engin., 15, 012 095 (2010)
  28. D.W. Sheel, J.M. Gaskell. Thin. Sol. Films, 520, 1242 (2011)
  29. I. Hamberg, C.G. Granqvist. J. Appl. Phys., 60, R123 (1986)
  30. M. Hest, M.S. Dabney, J.D. Perkins, D.S. Ginley. Thin Sol. Films, 496, 70 (2006)
  31. P. Nath, R.F. Bunshah. Thin Sol. Films, 69, 63 (1980)
  32. Краткий справочник физико-химических величин, под ред. К.П. Мищенко, А.А. Равделя (Л., Химия, 1974)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme