Физика и техника полупроводников

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Способ формирования пленок фазы β-FeSi₂ методом импульсного лазерного осаждения в вакууме

DOI: 10.21883/FTP.2021.09.51293.23

Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), Стабильность, 20-38-70063

Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), Аспиранты, 20-32-90032

Кузнецов Ю.М.

¹, Дорохин М.В.

¹, Нежданов А.В.

¹, Здоровейщев Д.А.¹, Лесников В.П.

¹, Машин А.И.

¹Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия Research Institute for Physics and Technology, Lobachevsky State University of Nizhny Novgorod, Nizhny Novgorod, Russia

Research Institute for Physics and Technology, Lobachevsky State University of Nizhny Novgorod, Nizhny Novgorod, Russia

Email: yurakz94@list.ru, dorokhin@nifti.unn.ru, nezhdanov@phys.unn.ru, daniel.zdorov@gmail.com, mashin@unn.ru

Поступила в редакцию: 12 апреля 2021 г.

В окончательной редакции: 19 апреля 2021 г.

Принята к печати: 19 апреля 2021 г.

Выставление онлайн: 9 июня 2021 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Рассмотрен новый способ формирования фазы β-FeSi₂ на кремниевых и сапфировых подложках методом импульсного лазерного осаждения в вакууме. Была подготовлена серия структур с вариацией концентрации железа в распыляемой мишени. Выполнен анализ фазового состава пленок из идентификации пиков в спектрах комбинационного рассеяния света. Проведено исследование магнитных свойств образцов путем регистрации магнитополевой зависимости сопротивления Холла. Показано формирование дополнительных магнитных фаз Fe₃Si и FeSi при условиях роста, обеспечивающих повышенное вхождение атомов Fe в формируемый слой. Проведен анализ фазового состава пленок, сформированных на кремниевых и сапфировых подложках при одинаковых технологических параметрах роста. Ключевые слова: полупроводник, β-FeSi₂, импульсное лазерное осаждение, комбинационное рассеяние света, эффект Холла.

Z. Liu, M. Osamura, T. Ootsuka, R. Kuroda, Y. Fukuzawa, N. Otogawa, Y. Nakayama, Y. Makita, H. Tanou. J. Cryst. Growth, 307, 82 (2007)
Q. Wan, T.H. Wang, C.L. Lin. Appl. Phys. Lett., 82 (19), 3224 (2003)
Y.P. Han, X.J. Wang, Q.R. Hou, Q.W. Wang, J.X. Wang. Mod. Phys. Lett. B, 26 (15), 125009 (2012)
Z.G. Chen, G. Hana, L. Yanga, L. Cheng, J. Zou. Progr. Natural Sci.: Mater. Intern., 22 (6), 535 (2012)
G. Behr, J. Werner, G. Weise, A. Heinrich, A. Burkov, C. Gladun. Phys. Status Solidi A, 160, 549 (1997)
Р.И. Баталов, Р.М. Баязитов, Е.И. Теруков, В.Х. Кудоярова, G. Weiser. ФТП, 35 (11), 1320 (2001)
Z. Liu, Y. Suzuki, M. Osamura, T. Ootsuka, T. Mise, R. Kuroda, H. Tanoue, Y. Nakayama. J. Appl. Phys., 95, 4019 (2004)
H.M. Manasevit, W.I. Simpson. J. Appl. Phys., 35, 1349 (1964)
O. Kubaschewski. Iron-Binary Phase Diagrams (Springer, Berlin, 1982)
W.K. Chu, S.S. Lau, J.W. Mayer, H. Muller, K.N. Tu. Thin Sol. Films, 25, 393 (1975)
Q. Han, Z. Liu, Y. Xu, H. Zhang. J. Cryst. Growth, 307, 82 (2007)
S. Thabethe, E. Linganiso, D. Motaung, M.G. Mashapa, S. Nkosi, C.J. Arendse, B.W. Mwakikung. J. Luminesc., 143, 113 (2013)
E. Arushanov, Ch. Kloc, H. Hohl, E. Bucher. J. Appl. Phys., 75, 5106 (1994)
S. Brehme, G. Behr, A. Heinrich. J. Appl. Phys., 89, 3798 (2001)
K. Irmscher, W. Gehlhoff, Y. Tomm, H. Lange, V. Alex. Phys. Rev. B, 55, 4417 (1997)
P. Bertoncini, P. Wetzel, D. Berling, A. Mehdaoui, B. Loegel, G. Gewinner, R. Poinsot, V. Pierron-Bohnes. JMMM, 237, 181 (2001)
R. Klaesges, C. Carbone, W. Eberhardt, C. Pampuch, O. Rader, T. Kachel, M. Gudat. Phys. Rev. B, 56, 10801 (1997)
R. Skomski, P. Kumar, B. Balamurugan, B. Das, P. Manchanda, P. Raghani, A. Kashyap, D.J. Sellmyer. JMMM, 460, 438 (2018)
N.E. Sluchanko, V.V. Glushkov, S.V. Demishev, A.A. Menovsky, L. Weckhuysen, V.V. Moshchalkov. Phys. Rev. B, 65, 064404 (2002)
H.J. Williams, J.H. Wernick, R.C. Sherwood, G.K. Wertheim. J. Appl. Phys., 37 (3), 1256 (1966)
B. Schuller, R. Carius, S. Manti. J. Appl. Phys., 94 (1), 207 (2003)
Y. Terai, H. Yamaguchi, H. Tsukamoto, N. Murakoso, H. Hoshida. AIP Adv., 8, 105028 (2018)
Y. Maeda, K. Umezawa, Y. Hayashi, K. Miyake. Thin Sol. Films, 381, 219 (2001)
Y. Terai, H. Yamaguchi, H. Tsukamoto, T. Hattori, T. Higashi. JJAP Conf. Proc., 3, 011109 (2015).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель