Рамановская и инфракрасная спектроскопии нанокристаллов GaN, выращенных хлорид-гидридной эпитаксией на оксидированном кремнии
Бессолов В.Н.1, Жиляев Ю.В.1, Коненкова Е.В.1, Федирко В.А.2, Zahn D.R.T.3
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Московский государственный технологический университет "СТАНКИН", Москва, Россия
3Institut fur Physik, TU Chemnitz, Chemnitz, Germany
Поступила в редакцию: 27 января 2003 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2003 г.
Методами рамановской и инфракрасной спектроскопии изучались нанокристаллические GaN-пленки, которые были выращены хлорид-гидридной эпитаксией на SiO2/Si (111)-подложке при T=520oC. Установлено, что нанокристаллы GaN формируются на поверхности оксидированного кремния со скоростью 10-2 нм/с. Показано, что пики рамановских спектров E2(high)=566 см-1 и A1(LO)=730 см-1 соответствуют упругонапряженной структуре вюрцита GaN. Обнаружено, что в инфракрасных спектрах проявляется пик, связанный с E1(TO)=558 см-1, который показывает, что упругие напряжения в нанокристаллах невелики.
- P. Millet, A. Colka, J.S. Williams, G.J.H. Vantenaar. Appl. Phys. Lett., 63, 2505 (1993)
- M. Benaissa, M. Jose-Yacaman, J.M. Hernander, X. Bokhimi, K.E. Gouseles, G. Gerlson. Phys. Rev. B, 54, 17 763 (1996)
- G.S. Cheng, L.D. Zhang, Y. Zhou, G.T. Fei, L. Li, C.M. Mo, Y.Q. Mao. Appl. Phys. Lett., 75, 2455 (1999)
- M.H. Kim, Y.-C. Bang, N. M. Park, C.J. Choi, T.Y. Seong, S.J. Park. Appl. Phys. Lett., 78, 2858 (2001)
- A. Munkholm, C. Thompson, M.V. Raman Murty, J.A. Eastman, O. Anciello, G.B. Stephenson, P. Fini, S.P. DenBaars, J.S. Speck. Appl. Phys. Lett., 77, 1626 (2000)
- Yu.V. Melnik, K.V. Vassilevski, I.P. Nikitina, A.I. Babanin, V.Yu. Davidov, V.A. Dmitriev. MRS Internet J.: Nitride Semicond. Res., 2, 39 (1997)
- В.Н. Бессолов, Ю.В. Жиляев, Е.В. Коненкова, С.А. Кукушкин, А.В. Лукьянов, С.Д. Раевский, В.А. Федирко. Письма ЖТФ, 27 (23), 60 (2001)
- M. Benyonul, M. Kuball, B. Benumont, P. Gibart. Appl. Phys. Lett., 80, 2275 (2002)
- Y.G. Cao, X.L. Chen, Y.C. Lan, X.P. Xu, Y.K. Liang. J. Mater. Res., 15, 267 (2000)
- X. Zhang, Y.T. Hou, Z.C. Feng, J.L. Chen. J. Appl. Phys., 89, 6165 (2001)
- S. Tripathy, S.J. Chua, P. Chen, Z.L. Miao. J. Appl. Phys., 92, 3503 (2002)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.