Вышедшие номера
Home » Физика и техника полупроводников » Год 2023, выпуск 4 » Статья стр. 289
<<<>>>
Температурная зависимость дислокационной электролюминесценции в кремниевых светодиодах с кислородными преципитатами
DOI: 10.21883/FTP.2023.04.55900.4810
Переводная версия: 10.61011/SC.2023.04.56427.4810
Соболев Н.А.1, Калядин А.Е.1, Штельмах К.Ф.1, Аруев П.Н.1, Забродский В.В.1, Шек Е.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: nick@sobolev.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 7 апреля 2023 г.
В окончательной редакции: 31 мая 2023 г.
Принята к печати: 6 июня 2023 г.
Выставление онлайн: 14 июля 2023 г.
PDF версия
Исследована электролюминесценция кремниевых светодиодов, сформированных с участием кислородных преципитатов, при температурах 40-300 K. Имплантация ионов кислорода и многостадийные отжиги использовались при изготовлении светодиодов. Во всем диапазоне температур спектры хорошо аппроксимируются одной лоренцевой и четырьмя гауссовыми кривыми. В спектрах присутствуют линии дислокационной люминесценции D1-D4 (кривой Лоренца описывается линия D1) и кислородных преципитатов (ОР). Положения максимумов линий D1, ОР и D2 с изменением температуры измерения совпадают с температурной зависимостью ширины запрещенной зоны кремния, уменьшенной на значения 356, 330 и 303 мэВ соответственно. На температурных зависимостях интенсивностей электролюминесценции линий D1, ОР и D2 наблюдаются участки возгорания и гашения, определены энергии активации этих процессов, и обсуждаются причины их появления. Ключевые слова: светодиоды, дислокационная люминесценция, кремний, кислородные преципитаты. DOI: 10.21883/FTP.2023.04.55900.4810
  1. Н.А. Дроздов, А.А. Патрин, В.Д. Ткачев. Письма ЖЭТФ, 23, 651 (1976)
  2. Н.А. Соболев. ФТП, 44 (1), 3 (2010)
  3. Н.А. Соболев, А.Е. Калядин, М.В. Коновалов, П.Н. Аруев, В.В. Забродский, Е.И. Шек, К.Ф. Штельмах, А.Н. Михайлов, Д.И. Тетельбаум. ФТП, 50 (2), 241 (2016)
  4. A. Tereshchenko, D. Korolev, M. Khorosheva, A. Mikhaylov, A. Belov, A. Nikolskaya, D. Tetelbaum. Phys. Status Solidi A, 216, 1900323 (2019)
  5. E.O. Sveinbjornsson, J. Weber. Appl. Phys. Lett., 69, 2686 (1996)
  6. V. Kveder, V. Badylevich, E. Steinman, A. Izotov, M. Zeibt, W. Schreter. Appl. Phys. Lett., 84, 2106 (2004)
  7. Н.А. Соболев, А.М. Емельянов, В.В. Забродский, Н.В. Забродская, В.Л. Суханов, Е.И. Шек. ФТП, 41 (5), 635 (2007)
  8. A. Borghesi, B. Pivac, A. Sassella, A. Stella. J. Appl. Phys., 77, 4169 (1995)
  9. S. Binetti, S. Pizzini, E. Leoni, R. Somaschini, A. Castaldini, A. Cavallini. J. Appl. Phys., 92, 2437 (2002)
  10. K. Bothe, R.J. Falster, J.D. Murphy. Appl. Phys. Lett., 101, 032107 (2012)
  11. Н.А. Соболев, А.Е. Калядин, К.Ф. Штельмах, Е.И. Шек. ФТП, 55 (10), 928 (2021)
  12. Н.А. Соболев, А.Е. Калядин, К.Ф. Штельмах, П.Н. Аруев, В.В. Забродский, Е.И. Шек. ФТП, 56 (9), 904 (2022)
  13. J.F. Ziegler, M.D. Ziegler, J.P. Biersack. Nucl. Instr. Meth. B, 268, 1818 (2010)
  14. http://www.srim.org
  15. N.A. Sobolev, A.M. Emel`yanov, E.I. Shek, O.V. Feklisova, E.B. Yakimov, T.V. Kotereva. Phys. Status Solidi С, 2 (6), 1842 (2005)
  16. R. Sauer, J. Weber, J. Stolz, E.R. Weber, K.H. Kurster, H. Alexander. Appl. Phys. A, 36, 1 (1985)
  17. S. Binetti, R. Somaschini, A. Le Donne, E. Leoni, S. Pizzini, D. Li, D. Yang. J. Phys.: Condens. Matter, 14, 13247 (2002)
  18. Luelue Xiang, Dongsheng Li, Lu Jin, Shuming Wang, Deren Yang. J. Appl. Phys., 113, 033518 (2013)
  19. L.I. Fedina, A.K. Gutakovskii, T.S. Shamirzaev. J. Appl. Phys., 124, 053106 (2018)
  20. В.И. Вдовин, Л.И. Федина, А.К. Гутаковский, А.Е. Калядин, Е.И. Шек, К.Ф. Штельмах, Н.А. Соболев. Кристаллография, 66 (4), 597 (2021)
  21. V. Alex, S. Finkbeiner, J. Weber. J. Appl. Phys., 79, 6943 (1996)
  22. E.A. Steinman, A.N. Tereshchenko, N.V. Abrosimov. Solid State Phenomena, 131--133, 607 (2008)
  23. А.Е. Калядин, К.Ф. Штельмах, П.Н. Аруев, В.В. Забродский, К.В. Карабешкин, Е.И. Шек, Н.А. Соболев. ФТП, 54 (6), 580 (2020)
  24. G. Davies. Phys. Reports, 176, 83 (1989)
  25. E.A. Steinman, O. Kononchuk, A.N. Tereshchenko, A.A. Mazilkin. Solid State Phenomena, 156--158, 555 (2010)
  26. А.Н. Терещенко, Д.С. Королев, А.Н. Михайлов, А.И. Белов, А.А. Никольская, Д.А. Павлов, Д.И. Тетельбаум, Э.А. Штейнман. ФТП, 52 (7), 580 (2018)
  27. K.L. Shaklee, R.E. Nahory. Phys. Rev. Lett., 24, 942 (1970)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme