Вышедшие номера
Влияние давления и водорода на образование вакансий и дивакансий в кристаллическом кремнии
Заводинский В.Г.1, Гниденко А.А.1, Мисюк А.2, Бак-Мисюк Я.3
1Институт материаловедения Дальневосточного отделения Российской академии наук, Хабаровск, Россия
2Институт электронной технологии, 02-668 Варшава, Польша
3Институт физики Польской академии наук, 02-668 Варшава, Польша
Поступила в редакцию: 30 октября 2003 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2004 г.

Методами теории функционала электронной плотности и псевдопотенциала исследовано влияние водорода и давления на формирование вакансий и дивакансий в кремнии. Показано, что в присутствии водорода энергия формирования вакансий может снижаться на величину от 1.8 до 3.5 эВ, а энергия формирования дивакансий на величину от 2 до 5.4 эВ, и становится возможным спонтанное возникновение вакансий и их комплексов при высоких концентрациях водорода. Вместе с тем наличие водорода делает кремний менее чувствительным к давлению и при больших концентрациях может полностью подавить тенденцию дополнительного образования вакансий под действием давления.