InGaAs фотодиод с пониженным темновым током на диапазон 1.17-1.29 мкм с дискретным метаморфным буферным слоем
Минобрнауки РФ, Работа выполнена при поддержке государственного задания, FSWR-2023-0037
Самарцев И.В.1, Звонков Б.Н.1, Байдусь Н.В.1, Чигинева А.Б.1, Жидяев К.С.1, Дикарева Н.В.1, Здоровейщев А.В.1, Рыков А.В.
1, Планкина С.М.1, Нежданов А.В.1, Ершов А.В.
1
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Email: samartsev@nifti.unn.ru, bnv@nifti.unn.ru, chigineva@nifti.unn.ru, zhidyaev@nifti.unn.ru, dnat@ro.ru, zdorovei@gmail.com, rykovsc@gmail.com, plankina@phys.unn.ru, nezhdanov@phys.unn.ru, ershov@phys.unn.ru
Поступила в редакцию: 30 мая 2023 г.
В окончательной редакции: 20 июня 2023 г.
Принята к печати: 17 июля 2023 г.
Выставление онлайн: 22 октября 2023 г.
Приведены результаты исследований по созданию фотодиодов для спектрального диапазона >1 мкм, сформированных на подложках GaAs. Разработана технология эпитаксиального выращивания методом МОС-гидридной эпитаксии InGaAs p-i-n-фотодиодных структур c дискретным метаморфным буферным слоем In0.3Ga0.7As/GaAs. Для фотодиодов, изготовленных на основе полученных структур, спектральная зависимость фототока имела максимум на длине волны 1.24 мкм, спектральная область фоточувствительности составляла 1.17-1.29 мкм на уровне 10% от ее максимума при комнатной температуре. Представлены вольт-амперные характеристики фотодиодов в диапазоне температур 9-300 K. Показано, что темновой ток содержит генерационно-рекомбинационную и туннельную компоненты. Достигнуто пониженное значение плотности темнового тока 8·10-5 А/см2 при обратном смещении -5 В и комнатной температуре. Ключевые слова: МОС-гидридная эпитаксия, наноматериалы, полупроводники AIIIBV, инфракрасные фотодиоды, темновой ток.
- Yang He, Yurun Sun, Yan Song, Yongming Zhao, Shuzhen Yu, Jianrong Dong. Jpn. J. Appl. Phys., 55, 065501 (2016)
- Daehwan Jung, Patrick G. Callahan, Bongki Shin, Kunal Mukherjee, Arthur C. Gossard, John E. Bowers. J. Appl. Phys., 122, 225703 (2017)
- N.A. Kalyuzhnyy, S.A. Mintairov, A.M. Nadtochiy, V.N. Nevedomskiy, D.V. Rybalchenko, M.Z. Shvarts. Electron. Lett., 53 (3), 173 (2017)
- Pamela Jurczak, Kimberly A. Sablon, Marina Gutierrez, Huiyun Liu, Jiang Wu. Infr. Phys. Technol., 81, 320 (2017)
- K. Swaminathan, L.-M. Yang, T.J. Grassman, G. Tabares, A. Guzman, A. Hierro, M.J. Mills, S.A. Ringel. Opt. Express, 19, 7280 (2011)
- Yang Nan-Nan, Ma Ying-Jie, Gu Yi, Chen Xing-You, Gong Qian, Zhang Yong-Gang. J. Infrared Millim. Waves, 38 (3), 275 (2019)
- Zhu Bin, Han Qin, Yang Xiao-Hong, Ni Hai-Qiao, He Ji-Fang, NiuZhi-Chuan, Wang Xin, Wang Xiu-Ping, Wang Jie. Chinese Phys. Lett., 27 (3), 038504 (2010)
- S. Fedderwitz, A. Stohr, K.H. Tan, S.F. Yoon, Michael Weiss, ArturPoloczek, W.K. Loke, S. Wicaksono, Tien Khee Ng, V. Rymanov, A. Patra, E. Tangdiongga, Dieter Jager. IEEE Phot. Techn. Lett., 21 (13), 911 (2009)
- X.Y. Chen, Y.G. Zhang, Y. Gu, L. Zhou, Y.Y. Cao, X. Fang, Hsby Li. J. Cryst. Growth, 393, 75 (2014)
- X.Y. Chen, Y. Gu, Y.G. Zhang, Y.J. Ma, B. Du, J. Zhang, W.Y. Ji, Y.H. Shi, Y. Zhu. J. Cryst. Growth, 488, 51 (2018)
- S.Q. Liu, Q. Han, B. Zhu1, X.H. Yang, H.Q. Ni, J.F. He, X. Wang, M.F. Li, Y. Zhu, J. Wang, X.P. Wang, Z.C. Niu. Appl. Phys. Lett., 98, 201104 (2011)
- S.M. Plankina, O.V. Vikhrova, Yu.A. Danilov, B.N. Zvonkov, N.Yu. Kononova, A.V. Nezhdanov, I.Yu. Pashenkin. Semiconductors, 50, 1539 (2016)
- Sudip Saha, Daniel T. Cassidy, D.A. Thompson. J. Appl. Phys., 113, 124301 (2013)
- J. Groenen, R. Carles, G. Landa. Phys. Rev. B, 58 (16), 10452 (1998)
- S.N.G. Chu, S. Nakahara, K.E. Strege, W.D. Johnston, jr. J. Appl. Phys., 57, 4610 (1985)
- P.V. Seredin, A.V. Glotov, V.E. Ternovaya, E.P. Domashevskaya, I.N. Arsentyev, L.S. Vavilova, I.S. Tarasov. Semiconductors, 45, 1433 (2011)
- I.V. Samartsev, S.M. Nekorkin, B.N. Zvonkov, V.Ya. Aleshkin, A.A. Dubinov, I.J. Pashenkin, N.V. Dikareva, A.B. Chigineva. Semiconductors, 52 (12), 1564 (2018)
- A.V. Sorochkin V.S. Varavin, A.V. Predein, I.V. Sabinina, M.V. Yakushev. Semiconductors, 46, 535 (2012)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.