Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Формирование канального кремния для создания фильтрующих слоев
Ивлев К.Е.
1, Болотов В.В.
1, Пономарева И.В.
1, Князев Е.В.
1
1Омский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук, Омск, Россия 
Email: ivlev@obisp.oscsbras.ru, bolotov@obisp.oscsbras.ru, poni@obisp.oscsbras.ru, knyazev@obisp.oscsbras.ru
Поступила в редакцию: 12 мая 2023 г.
В окончательной редакции: 13 сентября 2023 г.
Принята к печати: 30 октября 2023 г.
Выставление онлайн: 30 декабря 2023 г.
Рассмотрены особенности формирования пористых слоев на подложках слабо легированного кремния n-типа проводимости методом анодного травления с использованием освещения. Обнаружено формирование слоя микропористого кремния на стенках макропор. Показано, что режимы освещения сильно влияют на морфологические параметры полученных слоев. После экспозиции в щелочи получены макропористые слои с диаметрами пор до 550 нм, которые могут быть использованы для создания фильтрующих слоев. Ключевые слова: пористый кремний, электрохимическое травление, газовые фильтры, растровая электронная микроскопия.
- Zh.-Y. Tan, Y.-G. Yuan, H. An, Y. Zou, J.-Ch. Wu, Ch.-Y. Zhan. J. Alloys Compd., 927, 167055 (2022). DOI: 10.1016/j.jallcom.2022.167055
- R. Chhasatia, M.J. Sweetman, B. Prieto-Simon, N.H. Voelcker. Sensors Actuators B: Chem., 273, 1313 (2018). DOI: 10.1016/j.snb.2018.07.021
- Н.В. Латухина, Д.А. Лизункова, Г.А. Рогожина, И.М. Жильцов, М.В. Степихова, В.И. Чепурнов. Фотоника, 12 (5), 508 (2018). DOI: 10.22184/1993-7296.2018.12.5.508.513
- R. Vercauteren, G. Scheen, J.-P. Raskin, L.A. Francis. Sensors Actuators A: Phys., 318, 112486 (2021). DOI: 10.1016/j.sna.2020.112486
- R.W. Baker. Membrane technology and applications (John Wiley \& Sons, N. Y., 2004) p. 301
- Е.В. Астрова, А.А. Нечитайлов, А.Г. Забродский. Альтернативная энергетика и экология: междунар. науч. журн., 2 (46), 60 (2007)
- R.B. Bird, W.E. Stewart, E.N. Lightfoot. Transport phenomena (John Wiley \& Sons, Inc., USA, 2002) p. 11
- V. Lehmann, R. Steng, A. Luigart. Mater. Sci. Eng. B, 69-70, 11 (2000)
- В.В. Болотов, К.Е. Ивлев, Е.В. Князев, И.В. Пономарева, В.Е. Росликов. ФТП, 54 (5), 504 (2020). DOI: 10.21883/FTP.2020.05.49269.9340
- J. Park, B. Kim. Microelectron. Eng., 200, 32 (2018). DOI: 10.1016/j.mee.2018.08.005
- Z.-Y. Tan, Y.-G. Yuan, H. An, Y. Zou, J.-Ch. Wu, Ch.-Y. Zhan. Surf. Coat. Technol., 365, 109 (2019). DOI: 10.1016/j.surfcoat.2018.07.051
- V. Lehmann. J. Electrochem. Soc., 140 (10), 2836 (1993)
- M.H. Al Rifai, M. Christophersen, S. Ottow, J. Carstensen, H. Foll. J. Electrochem. Soc., 147 (2) 627 (2000)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
