Измерения длин диффузии микрометрового диапазона техникой ядерной спектрометрии
Строкан Н.Б.1, Иванов А.М.1, Лебедев А.А.1, Syvajarvi M.2, Yakimova R.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Университет Линчепинга, S-581 83 Линчепинг, Швеция
Поступила в редакцию: 20 апреля 2005 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2005 г.
Предлагается методика определения значений диффузионных длин в диапазоне 0.5-50 мкм и соответственно минимальных величин времени жизни носителей заряда порядка наносекунд. Используется диодная структура в режиме обратного смещения. В область базы диода инжектируется калиброванный по величине неравновесный заряд. Инжекция осуществляется alpha-частицами естественного распада в режиме одиночного счета. Техникой ядерной спектрометрии измеряется величина заряда, продиффундировавшего в базе к границе области электрического поля. Проведен расчет возникающих в ходе диффузии потерь заряда в зависимости от длины проникновения трека частицы за область поля. Полученные функции имеют степенной характер и позволяют в свою очередь связать значения длины диффузии с величиной показателя степени и численного множителя, описывающего потери заряда. Эксперимент поставлен на слабо легированных эпитаксиальных пленках 4H-SiC.
- А.И. Курносов. Материалы для полупроводниковых приборов и интегральных микросхем (М., Высш. шк., 1980) с. 327
- Ю.Р. Носов. Физические основы работы полупроводникового диода в импульсном режиме (М., Наука, 1968) с. 263
- В.В. Тигатов, П.А. Гнатюк. ФТП, 39, 378 (2005)
- B. Lax, S. Neustadter. J. Appl. Phys., 25 (9), 1148 (1954)
- И.Н. Ильяшенко, Н.Б. Строкан. ФТП, 30, 302 (1996)
- Ion implantation. Science and Technology, ed. by J.F. Ziegler (Academic Press. Inc., 1984)
- Е.В. Калинина, Г.Ф. Холуянов, Г.А. Онушкин, Д.В. Давыдов, А.М. Стрельчук, А.О. Константинов, A. Hallen, А.Ю. Никифоров, В.А. Скуратов, K. Havancsak. ФТП, 38, 1223 (2004)
- В.К. Еремин, Е.М. Вербицкая, Н.Б. Строкан, В.Л. Суханов, А.М. Маляренко. ЖТФ, 56, 1987 (1986)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.