Вышедшие номера
Влияние адсорбции NO2 на оптические и электрофизические свойства слоев пористого кремния
Болотов В.В.1, Пономарева И.В.1, Стенькин Ю.А.1, Кан В.Е.1
1Омский филиал Института физики полупроводников Сибирского отделения Российской академии наук, Омск, Россия
Поступила в редакцию: 16 октября 2006 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2007 г.

Исследованы спектры комбинационного рассеяния света и вольт-амперные характеристики слоев пористого кремния до и после воздействия диоксида азота. Показано, что в структуре образцов присутствуют нанокристаллиты сферической формы с диаметром около 6-8 нм. Воздействие NO2 приводит к уменьшению сопротивления пористого Si на 2-3 порядка. Обнаружен рост проводимости структур при концентрации газа до 2000 млн-1 и резкое ее снижение при концентрациях, превышающих указанную. Эффект объясняется в рамках модели образования дополнительных дефектов типа оборванной связи кремния на границе раздела Si/SiO2 при окислении поверхности пористого кремния. Эти дефекты являются ловушками дырок, уменьшающими рост концентрации последних. PACS: 68.43-h, 72.80.Ng, 73.61.Jc, 78.30.Ly, 81.40-z