Решение задачи инжекции носителей тока в изолирующий слой при самосогласованных граничных условиях на контактах
Шашкин В.И.1, Востоков Н.В.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 12 марта 2008 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2008 г.
В дрейфово-диффузионном приближении получено аналитическое решение задачи об инжекции носителей тока в изолирующий i-слой конечной толщины при учете самосогласованных граничных условий. Главным допущением является пренебрежение собственным легированием i-слоя. Решение позволяет рассчитать потенциал, электрическое поле и вольт-амперные характеристики целого ряда структур: металл - i-n+ (или p+)-полупроводник, металл-i-слой-металл и n+(p+)-i-n+(p+)-структур. Решение допускает обобщение для структур, имеющих гетеробарьеры на границе полупроводниковых слоев. Предложенный подход учитывает контактные явления и объемные эффекты, связанные с ограничением тока пространственным зарядом в i-слое. Решение справедливо как в предельных случаях, так и в переходных режимах. PACS: 73.30.+y, 73.63.-b, 73.40.Qv, 73.40.Sx, 73.40.Ty
- В.Л. Бонч-Бруевич, Л.Г. Калашников. Физика полупроводников (М., Наука, 1990)
- М. Ламперт, П. Марк. Инжекционные токи в твердых телах (М., Мир, 1973)
- С. Зи. Физика полупроводниковых приборов (М., Мир, 1984) т. 1
- S.M. Skinner. J. Appl. Phys., 26, 509 (1955)
- J. Lindmayer, J. Reynolds, C. Wrigley. J. Appl. Phys., 34, 809 (1963)
- F. Neumann, Y.A. Genenko, C. Melzer, H. von Seggern. J. Appl. Phys., 100, 084 511 (2006)
- F. Neumann, Y.A. Genenko, C. Melzer, S.V. Yampolskii, H. von Seggern. Phys. Rev. B, 75, 205 322 (2007)
- Н. Ашкрофт, Н. Мермин. Физика твердого тела (М., Мир, 1979) т. 1
- Справочник по специальным функциям, под ред. М. Абрамовица, И. Стиган (М., Наука, 1979)
- В.И. Шашкин, А.В. Мурель, Ю.Н. Дроздов, В.М. Данильцев, О.И. Хрыкин. Микроэлектроника, 26, 57 (1997)
- В.И. Шашкин, А.В. Мурель, В.М. Данильцев, О.И. Хрыкин. ФТП, 36, 537 (2002)
- В.И. Шашкин, А.В. Мурель. ФТТ, 50, 519 (2008)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.