Вышедшие номера
Метод Laplace-DLTS с выбором параметра регуляризации по L-кривой
Левин М.Н.1, Татаринцев А.В.1, Ахкубеков А.Э.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
Поступила в редакцию: 4 февраля 2008 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2009 г.

Метод DLTS (Deep Level Transient Spectroscopy) является одним из основных методов, широко используемых для определения параметров дефектов, приводящх к возникновению глубоких уровней в запрещенной зоне полупроводникового материала. Предложено использовать подход L-кривой при выборе параметра регуляризации в методе Laplace-DLTS для исключения некотролируемых ошибок и повышения достоверности получаемых результатов. Возможности метода продемонстрированы численным анализом модельного релаксационного сигнала, содержащего 3 экспоненты с близкими значениями показателей и малую шумовую составляющую. Показано, что предложенный вариант Laplace-DLTS с использованием L-кривой для выбора параметра регуляризации или LL-DLTS обладает большей надежностью по сравнению с методом Laplace-DLTS с выбором параметра регуляризации по невязке. PACS: 71.55.Gs, 61.72.S-