Вышедшие номера
Влияние различных химических обработок поверхности на высоту барьеров Al-p-SiGe, Au-n-SiGe
Атабаев И.Г.1, Матчанов Н.А.1, Хажиев М.У.1, Пак В.1, Салиев Т.М.1
1Физико-технический институт им. С.В. Стародубцева Академии наук Республики Узбекистан, Ташкент, Узбекистан
Поступила в редакцию: 4 августа 2009 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2010 г.

Исследовано влияние различной химической обработки на свойства барьеров Шоттки Au-n-SiGe и Al-p-SiGe. Травление в различных режимах использовалось для формирования поверхности с различной плотностью поверхностных состояний (Dss). Показано, что высота барьеров исследованных структур коррелирует с плотностью поверхностных состояний Dss и содержанием германия в твердом растворе Si1-xGex.