Барьеры на p-кремнии типа металл-диэлектрик-полупроводник с нанотолщинным диэлектриком из нитрида алюминия
Иванов А.М.1, Котина И.М.2, Ласаков М.С.2, Строкан Н.Б.1, Тухконен Л.М.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Петербургский институт ядерной физики им. Б.П. Константинова, Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Гатчина, Ленинградская область, Россия
Поступила в редакцию: 2 февраля 2010 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2010 г.
Анализируется состояние поверхности границы раздела p-кремний-(нанотолщинный диэлектрик). Исследуются спектры DLTS в режимах перезарядки глубоких центров в объеме структуры, а также ее поверхностных состояний. Определен характер шумов в функции величины обратного напряжения в плане применения структуры в качестве детектора ядерных излучений. Сделано заключение, что используемый в структуре барьер обладает более высоким качеством при нанесении нанотолщинных пленок нитрида алюминия путем магнетронного распыления на постоянном, а не переменном токе.
- И.М. Котина, Л.М. Тухконен, Б.В. Спицын, А.Н. Блаут-Блачев, А.М. Ефременко, А.В. Корляков, В.В. Лучинин, А.М. Иванов, Н.Б. Строкан. Тез. 6-й Межд. конф. "Аморфные и микрокристаллические полупроводники" (Санкт-Петербург, 7--9 июля 2008 г.) с. 262
- А.М. Иванов, Н.Б. Строкан, И.М. Котина, Л.М. Тухконен, В.В. Лучинин, А.В. Корляков, А.М. Ефременко. Письма ЖТФ, 35 (10), 41 (2009)
- A.B. Gillespie. Signal, Noise and Resolution in Nuclear Counting Amplifiers (London, Pergamon Press Ltd, 1953) p. 155
- М.Е. Бойко, В.К. Еремин, А.М. Иванов, Н.Б. Строкан, С.А. Голубков. ПТЭ, N 3, 111 (2000)
- А.М. Иванов, Н.Б. Строкан. ЖТФ, 70 (2), 139 (2000)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.