Механизм глубокого легирования Fe эпитаксиальных GaAs / AlGaAs-гетероструктур
Герловин И.Я.1, Долгих Ю.К.1, Елисеев С.А.1, Ефимов Ю.П.1, Недокус И.А.1, Овсянкин В.В.1, Петров В.В.1, Бер Б.Я.2
1Научно-исследовательский институт физики Санкт-Петербургского государственного университета, Петродворец, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 28 июля 1998 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 1999 г.
На установке молекулярно-пучковой эпитаксии ЭП-1302 выращены предельно легированные железом гетероструктуры, содержащие объемные слои GaAs и AlxGa1-xAs, а также GaAs / AlGaAs-сверхрешетки. Анализ измеренных методом масс-спектрометрии вторичных ионов профилей вхождения железа показал, что при росте на ориентированных в плоскости [100] подложках предельные концентрации железа для слоев GaAs, а также для GaAs / AlGaAs-сверхрешеток оказываются на 2 порядка меньшими, чем для тройного раствора AlGaAs. Обнаружено, что радикальное увеличение предельной концентрации Fe (вплоть до 5· 1018 см-3) в GaAs / AlGaAs-сверхрешетках может быть достигнуто при росте на подложках, вырезанных с 3o отклонением от плоскости [100]. Существенно, что при таких высоких уровнях легирования в спектрах низкотемпературного (10 K) поглощения и фотолюминесценции сверхрешеток сохраняются узкие экситонные линии. Проанализированы возможные механизмы селективного внедрения железа в GaAs / AlGaAs-гетероструктуры.
- M.W. Bench, C.B. Carter, F. Wang, P.I. Cohen. Appl. Phys. Lett., 66, 2400 (1995)
- D.R. Dykar, D.J. Eaglesham, U.D. Keil, B.I. Greene, P.N. Saete, I.N. Pfeiffer, R.F. Kopf, S.B. Darac, K.W. West. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 241, 245 (1992)
- M.R. Melloch, C.I. Chang, N. Otsuka, K. Mahalingam, J.M. Woodal, P.D. Kirchner. J. Cryst. Growth, 127, 499 (1993)
- J.J. LePore. J. Appl. Phys., 51, 6441 (1980)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.