Компьютерное излучение механизмов сегрегации фосфора на границе SiO2/Si(100)
Заводинский В.Г.1
1Институт автоматики и процессов управления Дальневосточного отделения Российской академии наук, Владивосток, Россия
Поступила в редакцию: 16 сентября 1999 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2000 г.
Показано, что фосфор сегрегирует как вблизи идеальной границы SiO2/Si(100), так и вблизи границы с дефектами. В зависимости от конкретного механизма сегрегации (замещенние одиночных атомов кремния вблизи границы, притяжение к вакансиям и межузельным атомам кремния, накапливающимся вблизи границы и т. д.) энергия сегрегации может варьироваться от 0.5 до 1.0 эВ. При высоких концентрациях (сравнимых с концентрацией атомов кремния) энергия сегрегации уменьшается до 0.15-0.7 эВ. Энергия сегрегации на идеальной границе меньше, чем на границе с дефектами.
- L.P. Hunter. In: Handbook of Semiconductor Electronics, ed. by L.P. Hunter (McGraw-Hill Book Company, 1976)
- P.B. Griffin, S.W. Crowder, J.M. Knight. Appl. Phys. Lett., 67, 482 (1995)
- J. D abrowski, H.-J. Mussig. Abstracts of the Spring Meeting of the Germ. Phys. Soc., Munster, 1999
- M.J.S. Dewar, E.G. Zoebisch, E.F. Healy, J.J.P. Stewart. J. Amer. Chem. Soc., 107, 3902 (1985); N.C. Baird, M.J.S. Dewar. J. Chem. Soc., 50, 1262 (1969); R.C. Bingham, M.J.S. Dewar, D.H. Lo. J. Amer. Chem. Soc., 97, 1285 (1975)
- V.A. Zayetz. CLUSTER--Z1: Quantum Chemical Software [Inst. Surf. Chem. Nat. Acad. Sci. (Ukraine, Kiev, 1990)]; V.D. Khavryutchenko, A.V. Khavryutchenko, Jr., DYQUAMOD: Dynamical Quantum Modeling Software for Personal Computers [Joint Inst. Nucl. Res., Dubna, and Inst. Surf. Chem. Nat. Acad. Sci. (Ukraine, Kiev, 1993)]
- V.G. Zavodinsky, I.A. Kuyanov, E.N. Chukurov. Eur. Phys. J. B, 6, 273 (1998)
- V.G. Zavodinsky, I.A. Kuyanov. Appl. Surf. Sci., 141, 193 (1999)
- V.G. Zavodinsky, I.A. Kuyanov, O.M. Zavodinskaya. J. Non-Cryst. Sol., 243, 123 (1999)
- V.G. Zavodinsky. Phys. Low-Dim. Sruct., 3/4, 43 (1999)
- R. Bairle, M.J. Caldas, J. D abrowski, H.-J. Mussig, V. Zavodinsky. Abstracts of ICDS Simposium, Berkeley, 1999
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук