Влияние адсорбции кислорода на проводимость тонких пленок оксида олова
Кисин В.В.1, Сысоев В.В.1, Ворошилов С.А.2, Симаков В.В.1
1Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю.А., Саратов, Россия
2Саратовский государственный университет, Саратов, Россия
Поступила в редакцию: 23 апреля 1999 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2000 г.
Рассмотрено изменение проводимости однородной тонкой пленки оксида олова под влиянием адсорбции кислорода. С помощью модели, построенной в приближении плоских зон, дано описание зависимости концентрации свободных электронов в пленке от парциального давления кислорода в окружающей атмосфере. Результаты расчетов сравниваются с экспериментальными данными.
- M.J. Madou, S.R. Morrison. Chemical Sensing with Solid State Devices (London, Academic Press, 1991) p. 67
- Semiconductor Sensors in Physico-chimical Studies, ed. by L.Yu. Kupriyanov (Amsterdam, Elsevier, 1996)
- N. Yamazoe, N. Miura. Chemical Sensor Technology, ed. by S. Yamauchi (Amsterdam, Elsevier, 1992) v. 4, p. 4
- V. Demarne, R. Sanjines. Gas Sensors: Principles, Operation and Developments, ed. by G. Sberveglieri (Dordrecht, Kluwer, 1992) ch. 3, p. 89
- N. Yamazoe. Sens. Actuators B, 5, 7 (1991)
- Р.М. Ващилова, Д.П. Димитров, Н.И. Долгов, А.Р. Кузьмин, А.В. Махин, В.А. Мошников, Ю.М. Таиров. ФТП, 29 (11), 1987 (1995)
- Б.А. Акимов, А.В. Албул, А.М. Гаськов, В.Ю. Ильин, М. Лабо, М.Н. Румянцева, А.И. Рябова. ФТП, 31 (4), 400 (1997)
- A. Galdikas, A. Mironas, D. Senulienc, A. Setkus. Thin Sol. Films, 323, 275 (1998)
- V.V. Kissine, S.A. Voroshilov, V.V. Sysoev. Thin Sol. Films, 348, 307 (1999)
- V.V. Kissine, S.A. Voroshilov, V.V. Sysoev. Sens. Actuators B, 55, 55 (1999)
- В.В. Кисин, В.А. Елистратов, Б.М. Гурьев. ПТЭ, N 5, 244 (1993)
- П.С. Киреев. Физика полупроводников (М., Высш. шк., 1975)
- Z.M. Jarzebski, J.P. Marton, J. Electrochem. Soc., 123 (10), 333C (1976)
- F.J. Gutierrez, L. Ares, J.I. Robla, J.M. Getino, M.C. Horrilo, I. Sayago, J.A. de Agapito Sens. Actuators B, 15--16, 98 (1993)
- Ф.Ф. Волькенштейн. Электронные процессы на поверхности полупроводников при хемосорбции (М., Наука, 1987)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.