Стимулированное ультразвуком низкотемпературное перераспределение примесей в кремнии
Островский И.В.1, Надточий А.Б.1, Подолян А.А.1
1Киевский национальный университет им. Т. Шевченко (Физический факультет) Киев, Украина
Поступила в редакцию: 17 октября 2001 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2002 г.
С помощью вторичной ионной масс-спектрометрии и релаксации фотопроводимости исследовалось влияние ультразвуковой обработки на изменение концентрации примесей металлов в приповерхностных слоях кремния. Показано, что ультразвуковая обработка приводит к возрастанию концентрации примесей K и Na при комнатной температуре на поверхности образца.
- В.С. Вавилов, В.Ф. Киселев, Б.Н. Мукашев. Дефекты в кремнии и на его поверхности (М., Наука, 1990)
- R.E. Bell, S. Ostapenko, J. Lagowski. MRS Symp. Proc., 378, 647 (1995)
- И.Б. Ермолович, В.В. Миленин, Р.В. Конакова, Л.Н. Применко, И.В. Прокопенко, В.Л. Громашевский. ФТП, 31, 503 (1997)
- И.В. Островский, Л.П. Стебленко, А.Б. Надточий. ФТП, 34, 257 (2000)
- A. Hangleiter. Phys. Rev. b, 35, 9149 (1987)
- M. Saritas, H.D. Mc Kell. J. Appl. Phys., 63, 4561 (1988)
- F. Shimura, T. Okui, T. Kusama. J. Appl. Phys., 67, 7168 (1990)
- Г.Е. Пикус. Основы теории полупроводниковых приборов (М., Наука, 1965)
- В. Гривицкас, Э. Гаубас, А. Канява, Я. Линнрос, А.Р. Салманов, А.Е. Земко, Г.Н. Травлеев, Л.А. Казакевич, В.И. Кузнецов, И.М. Филиппов. Лит. физ. сб., 32, 589 (1992)
- И. Аут, Д. Генцов, К. Герман. Фотоэлектрические явления (М., Мир, 1980). [Пер. с нем.: J. Auth, D. Genzow, K.H. Hermann. Photoelektrische Ersheinungen (Akademie-Verlag, Berlin, 1977)]
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук