Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Изменение электрофизических свойств кремниевых МОП-структур с наноразмерным окислом кремния под воздействием паров воды
1Одесский национальный университет им. И.И. Мечникова, Одесса, Украина 
Поступила в редакцию: 21 марта 2013 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2014 г.
Исследованы зависимости поверхностного потенциала и плотности поверхностных состояний кремниевых МОП-структур с наноразмерным окислом кремния от влажности окружающей газовой среды. На основании модели влагочувствительности таких структур, находящихся в режимах обеднения и слабой инверсии, получено аналитическое выражение, связывающее поверхностных потенциал с влажностью, параметрами окисла, полупроводника и границы раздела окисле-полупроводник. Проведенные расчеты подтвердили справедливость этого выражения и позволили установить критерии линейности зависимости поверхностного потенциала от влажности. Исследованы зависимости поверхностного потенциала и плотности поверхностных состояний кремниевых МОП-структур с наноразмерным окислом кремния от влажности окружающей газовой среды. На основании модели влагочувствительности таких структур, находящихся в режимах обеднения и слабой инверсии, получена аналитическая зависимость поверхностного потенциала от влажности и определены критерии ее линейности. Справедливость аналитической зависимости подтверждена экспериментально.
- P.P. Fastykovsky, A.A. Mogilnitsky. Sensors\&Actuators, B 57, 51 (1999)
- П.П. Фастыковский, М.А. Глауберман. Тр. 8-й Mеждунар. конф. "Современные информационные и электронные технологии" (Одесса, Украина, 2007) с. 324
- П.П. Фастыковский, А.А. Могильницкий, М.А. Глауберман, Н.Н. Майко. Фотоэлектроника, N 9, 133 (2000)
- С. Зи. Физика полупроводниковых приборов (М., Мир, 1984) кн. I, гл. 7
- P.K. Dubey, V.A. Filikov, J.G. Simmons. Thin Sol. Films, 33, 49 (1976)
- В.Ф. Киселев, О.В. Крылов. Электронные явления в адсорбции и катализе на полупроводниках и диэлектриках (М., Наука, 1979) гл. 5
- F. Uchikawa, K. Shimamoto. American Ceramic Soc. Bull, 64 (8), 1137 (1985)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
