Физика и техника полупроводников

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Влияние температуры фотонного отжига на структурные и оптические свойства пленок ZnO, синтезированных методом дуального магнетронного распыления

DOI: 10.21883/FTP.2019.02.47111.8933

Переводная версия: 10.1134/S106378261902026X

Зайцев С.В.¹, Ващилин В.С.¹, Колесник В.В.¹, Лимаренко М.В.¹, Прохоренков Д.С.¹, Евтушенко Е.И.¹

¹Белгородский государственный технологический университет имени В.Г. Шухова, Белгород, Россия Belgorod State Technology University named after V.G. Shukhov, Belgorod, Russia

Belgorod State Technology University named after V.G. Shukhov, Belgorod, Russia

Email: sergey-za@mail.ru

Поступила в редакцию: 13 июня 2018 г.

Выставление онлайн: 20 января 2019 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Пленки ZnO толщиной 1.4 мкм осаждали на стеклянные подложки методом дуального магнетронного распыления мишеней Zn в газовой среде аргона и кислорода. Проведены исследования зависимости структурных и оптических характеристик пленок ZnO от температуры фотонного отжига после осаждения. Установлено что, повышение температуры отжига приводит к повышению степени кристалличности пленок. Электронная микроскопия показала, что осажденное покрытие ZnO имеет столбчатую структуру, причем отжиг увеличивает плотность микроструктуры и размер кристаллита. Обнаружено, что при температуре отжига 450-650^oC коэффициент оптического пропускания увеличился до значения >90% в спектральной области 400-1100 нм. Экспериментальные результаты показывают, что температура фотонного отжига в вакууме оказывает наибольшее влияние на конечные свойства покрытий ZnO.

V. Senay, S. Pat, S. Korkmaz, T. Aydogmus, S. Elmas, S. Ozen, N. Ekem, M.Z. Balbag. Appl. Surf. Sci., 318, 2 (2014)
V.S. Burakov, N.V. Tarasenko, E.A. Nevar, M.I. Nedel'ko. Technical Physics, 56 (2), 245 (2011)
D.T. Phan, G.S. Chung. Appl. Surf. Sci., 257 (9), 4339 (2011)
Y. Natsume, H. Sakata. J. Mater. Sci.: Materials in Electronics, 12 (2), 87 (2001)
Z. Li, Z. Hu, L. Jiang, H. Huang, F. Liu, X. Zhang, Y. Wang, P. Yin, L. Guo. Mater. Lett., 79, 209 (2012)
M. Suchea, S. Christoulakis, C. Tibeica, M. Katharakis, N. Kornilios, T. Efthimiopoulos, E. Koudoumas. Appl. Surf. Sci., 254 (17), 5475 (2008)
В.Б. Залесский, Т.Р. Леонова, О.В. Гончарова, И.А. Викторов, В.Ф. Гременок, Е.П. Зарецкая. Физика и химия твердого тела, 6 (1), 44 (2005)
K.W. Kim, H.S. Son, N.J. Choi, J. Kim, S.N. Lee. Thin Sol. Films, 546, 114 (2013)
B. Zhang, B. Yao, S. Wang, Y. Li, C. Shan, J. Zhang, B. Li, Z. Zhang, D. Shen. J. Alloys Comp., 503 (1), 155 (2010).
А.И. Кузьмичев. Магнетронные распылительные системы (М., Изд-во Аверс, 2008)
D. Manova, J.W. Gerlach, S. Mandl. Materials, 3 (8), 4109 (2010)
J.R.R. Bortoleto, M. Chaves, A.M. Rosa, E.P. da Silva, S.F. Durrant, L.D. Trino, P.N. Lisboa-Filho. Appl. Surf. Sci., 334, 210 (2015)
В.М. Нарцев, М.С. Агеева, Д.С. Прохоренков, С.В. Зайцев, С.В. Карацупа, В.С. Ващилин. Вестн. БГТУ им. В.Г. Шухова, 6, 168 (2013)
С.В. Зайцев, В.М. Нарцев, В.С. Ващилин, Д.С. Прохоренков, Е.И. Евтушенко. Российские нанотехнологии, 11 (5-6), 18 (2016)
C.W. Hsu, T.C. Cheng, C.H. Yang, Y.L. Shen, J.S. Wu, S.Y. Wu. J. Alloys Comp., 509 (5), 1774 (2011)
Y.Y. Kim, S.W. Kang, B.H. Kong, H.K. Cho. Physica B: Condens. Matter, 401, 408 (2007)
A. Purohit, S. Chander, A. Sharma, S.P. Nehra, M.S. Dhaka. Optical Mater., 49, 51 (2015)
G.A. Kumar, M.R. Reddy, K.N. Reddy. J. Physics: Conf. Ser., 365 (1), 012031 (2012). http://iopscience.iop.org/ article/10.1088/1742-6596/365/1/012031/meta
Z.B. Fang, Z.J. Yan, Y.S. Tan, X.Q. Liu, Y.Y. Wang. Appl. Surf. Sci., 241 (3--4), 303 (2005)
S.U. Lee, B. Hong, J.H. Boo. Funct. Mater. Lett., 3 (02), 119 (2010)
A.L. Mercado, C.E. Allmond, J.G. Hoekstra, J.M. Fitz-Gerald. Appl. Phys. A, 81 (3), 591 (2005)
G.P. Daniel, V.B. Justinvictor, P.B. Nair, K. Joy, P. Koshy, P.V. Thomas. Physica B: Condens. Matter, 405 (7), 1782 (2010)
O. Lupan, T. Pauporte, L. Chow, B. Viana, F. Pelle, L.K. Ono, B.R. Cuenya, H. Heinrich. Appl. Surf. Sci., 256 (6), 1895 (2010)
E.N. Cho, S. Park, I. Yun. Current Appl. Phys., 12 (6), 1606 (2012)
M.F. Malek, M.H. Mamat, M.Z. Musa, Z. Khusaimi, M.Z. Sahdan, A.B. Suriani, A. Ishak, I. Saurdi, S.A. Rahman, M. Rusop. J. Alloys Comp., 610, 575 (2014).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель