Соломникова А.В.1, Бессолов В.Н.2, Коненкова Е.В.2, Орлова Т.А.2, Родин С.Н.2, Середова Н.В.2, Щеглов М.П.2, Кибалов Д.С.3, Смирнов В.К.3
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
3ООО "Квантовый кремний", Москва, Россия
Email: bes.triat@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 17 декабря 2018 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2019 г.
Представлены результаты исследований полуполярных слоев GaN, синтезированных на наноструктурированной подложке Si(100). Показано, что применение нанорельефа Si(100) в сочетании с нанополосками SixNy на вершинах наноструктур при газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений может приводить к формированию слоев GaN(1012), а дополнительное использование буферного слоя SiC позволяет получить слои GaN(1011) c полушириной кривой дифракции omegatheta~35'. Обнаружено, что люминесцентные свойства полуполярных слоев обусловлены преимущественно дефектами упаковки BSFS-I1 (basal plane stacking faults), в отличие полярных слоев, где в основном они обусловлены рекомбинацией экситонов. Ключевые слова: полуполярный нитрид галлия, фотолюминесценция, газофазная эпитаксия.
- J.W. Chung, K. Ryu, B. Lu, T. Palacios. Eur. Solid-State Dev. Res. Conf. ESSDERC, 52 (2010)
- В.Н. Бессолов, Е.В. Гущина, Е.В. Коненкова, С.Д. Коненков, Т.В. Львова, В.Н. Пантелеев, М.П. Щеглов. ЖТФ, 89, 574 (2019)
- D.V. Dinh, S. Presa, M. Akhter, P.P. Maaskant, B. Corbett, P.J. Parbrook. Semicond. Sci. Technol., 30, 125007 (2015)
- V. Bessolov, A. Kalmykov, E. Konenkova, S. Kukushkin, A. Myasoedov, N. Poletaev, S. Rodin. J. Cryst. Growth, 457, 202 (2017)
- T. Tanikawa, T. Hikisaka, Y. Honda, M. Yamaguchi, N. Sawaki, Phys. Status Solidi C, 5, 2966 (2008)
- В.Н. Бессолов, Е.В. Коненкова, Т.А. Орлова, С.Н. Родин, М.П. Щеглов, Д.С. Кибалов, В.К. Смирнов. Письма ЖТФ, 44, 45 (2018)
- J. Lahnemann, U. Jahn, O. Brandt, T. Flissikowski, P. Dogan, H.T. Grahn. J. Phys. D: Appl. Phys., 47, 423001 (2014)
- D.V. Dihn, P.J. Parbrook. J. Cryst. Growth, 501, 34 (2018)
- V.K. Smirnov, D.S. Kibalov, O.M. Orlov, V.V. Graboshnikov. Nanotechnology, 14, 709 (2003)
- С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. IOP Conf. Series: Mater. Sci. Engin., 387, 012044 (2018)
- Y. Naoi, T. Tada, H. Li, N. Jiang, Sh. Sakai. Phys. Status Solidi C, 0, 2077 (2003)
- V. Bessolov, A. Zubkova, E. Konenkova, S. Konenkov, S. Kukushkin, T. Orlova, S. Rodin, V. Rubets, D. Kibalov, V. Smirnov. Phys. Status Solidi, (2019)
- P. Vennegu`es, J.M. Chauveau, Z. Bougrioua, T. Zhu, D. Martin, N. Grandjean. J. Appl. Phys., 112, 113518 (2012)
- W. Rieger, R. Dimitrov, D. Brunner, E. Rohrer, O. Ambacher, M. Stutzmann. Phys. Rev. B, 54, 17596 (1996)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.